[实用新型]一种高纯气体用全自动供气系统

说明书

本实用新型公开了一种高纯气体用全自动供气系统，其包括：左侧供气结构；右侧供气结构；左侧隔膜DOM减压阀；右侧隔膜DOM减压阀；T型双单向阀，所述T型双单向阀左侧管路与左侧隔膜DOM减压阀连接，所述T型双单向阀右侧管路与右侧隔膜DOM减压阀连接，所述T型双单向阀的中间管路上依次设有中间管路安全阀、中间压力表、出口减压阀、出口压力表和出口安全阀；右侧先导电磁阀；左侧先导电磁阀；电控系统；出气压力发讯装置；控制回路截止阀；控制回路减压阀；外部气动控制气源。本实用新型减少了人工的操作，降低了出错的概率，节约了人工成本，并且提高了安全性。

技术领域

本实用新型涉及一种供气系统，具体涉及一种高纯气体用全自动供气系统。

背景技术

气体通常都是在制气厂生产，然后将气体压缩储存在容器中，通过运输到使用单位。各使用单位根据各自的需求，建造各自的供气气源站，将压缩储存在容器中气体输送到输气管道中。为保证安全可靠的连续供气，气源站需要配备专用的气源设备，目前常用的是汇流排系统，采用双侧气源，一用一备的供气系统。如图1所示为一种标准的双侧压缩气源汇流排供气系统。

用气领域的各行业中，由于用途不同，对气体的要求也不同，对所用供气设备要求也不同。普通工业领域和医疗领域用气只有对气体的清洁有要求。医疗领域用气还会增加对生物兼容性要求。对于实验室、半导体等特殊用气领域，气体的纯度会直接影响试验的结果及产品的质量。对气体的纯度有特殊要求，气体纯度都在99.999％以上。一般工业、医疗的供气设备结构和材料上均存在影响被输送气体纯度的因素，如密封形式、密封材料、运动摩擦副；或多或少会对输送的气体纯度产生影响，不适用于高纯气体使用。所以，实验室、半导体等特殊用气领域的供气设备都要用适用高纯气体输送特殊供气设备。所使用的材料都需要高抗腐蚀性，金属材料必须316L以上的不锈钢，非金属材料只能使用对输送介质无任何影响的聚氟类高稳定性材料。不允许使用容易氧化的金属材料，以及使用会吸附和释放气体的橡胶类非金属材料。

现有普通工业或医疗供气的汇流排中采用的结构和使用的材料一般达不到高纯供气输送的要求，不能应用于高纯气体输送。由于技术上瓶颈，现有高纯气体供气系统大多数是采用手动切换的半自动连续供气的双侧气源系统，如图2所示。阀门均采用316L不锈钢隔膜结构，流道材料都是316L不锈钢材料。一般高压回路采用双侧减压阀对称布置结构，中间为梭阀或T型双单向阀，输出采用低压减压阀二次减压，稳定输出压力。

开始使用时，高压回路中一侧减压阀的输出压力设置的高于另一侧减压阀的输出压力。输出压力高的一侧先开启中间的T型双单向阀，另一侧被关闭，高压力侧优先供气，另一侧等待备用。供气侧供气后，随着气体消耗供气压力逐渐降低。当供气侧供气压力低于备用侧减压阀的输出压力时，备用侧压力高于使用侧，备用侧开启中间的单向阀，备用侧接续供气。供气系统虽然可以连续供气，但备用侧供气时输出压力低，会影响供气性能，只能起临时应急不中断供气作用，但不能正常供气。

当检查发现或通过报警装置发出一侧气体压力过低报警信号，必须手动将正在供气的备用侧减压阀输出压力调高，切换成供气侧，保证正常气体。待缺气侧更换上新瓶后，再将该侧减压阀的输出压力调低，做为备用侧。需要通过手动操作，周而复始，不断循环，连续供气。但不能自动切换，不能做到无缝对接。

亦有在此基础的变化和改进，如增加减压阀调节及工作指示，或改善压力设置方法，方便手动操作。但均不能实现自动切换。

在一些特殊高纯气体供气中也有采用图3所示的全自动供气系统。与图2相似，亦是采用双侧气源供气，只是在高压回路减压阀下游(或上游)增加了适用于高纯气体输送的气动隔膜阀，由气动先导电磁阀控制隔膜阀，一侧供气，一侧备用，不再需要人工干预操作。此外，还需要在气动隔膜阀与减压阀之间增加各自的安全阀，防止减压阀失效时，压力过载。