[实用新型]一种真空测量计

权利要求书

1.一种真空测量计，其特征在于：包括：规管信号线(1-1)、真空计(1)、KF真空快开三通(2)、测量缓冲腔(3)、真空测量探头保护物质(4)、计算机(7)、规管连接法兰(1-2)、压力传感器(6)、传感器信号线(6-1)、压力传感器连接法兰(6-2)、第二快开法兰(3-3)、第一快开法兰(3-1)和底挡板(3-2)；

真空计(1)通过规管连接法兰(1-2)与KF真空快开三通(2)的第一个开口连接，压力传感器(6)通过压力传感器连接法兰(6-2)与KF真空快开三通(2)的第二个开口连接；测量缓冲腔(3)为中空结构且具有两个开口，测量缓冲腔(3)的第一个开口通过第二快开法兰(3-3)与KF真空快开三通(2)的第三个开口连接，底挡板(3-2)与测量缓冲腔(3)的第二个开口连接，测量缓冲腔(3)的第二个开口再通过第一快开法兰(3-1)与被测量系统(5)连接，真空测量探头保护物质(4)位于测量缓冲腔(3)内，规管信号线(1-1)连接在计算机(7)与真空计(1)之间，传感器信号线(6-1)连接在计算机(7)与压力传感器(6)之间。

2.根据权利要求1所述的一种真空测量计，其特征在于：所述的真空测量探头保护物质(4)为硅胶、分子筛和活性炭的一种或几种的任意组合。

3.根据权利要求1所述的一种真空测量计，其特征在于：所述的真空计(1)为波尔登规、薄膜电容规、皮拉尼电阻规、热电偶规、热阴极电离规和冷阴极电离规中的任意一个。