[实用新型]一种石墨舟冷却设备

说明书

本实用新型公开了一种石墨舟冷却设备，其属于光伏技术领域，所述石墨舟冷却设备内设有容纳腔，所述容纳腔内设置有散热风机，所述石墨舟冷却设备内还包括冷却管组件托盘，所述冷却管组件托盘可拆卸设于所述石墨舟冷却设备内且位于所述散热风机的出口端，所述冷却管组件托盘上设有冷却管组件支撑件和通风孔，所述冷却管组件支撑件上设置有冷却管组件，所述冷却管组件呈蛇形排列，所述冷却管组件的一端为进水口，另一端为出水口。本实用新型使得石墨舟冷却设备能够快速对石墨舟进行降温，降温效果良好，且能够降低降温过程中的硅片碎片率。

技术领域

本实用新型涉及光伏技术领域，尤其涉及一种石墨舟冷却设备。

背景技术

在晶体硅太阳能电池管式PECVD(Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition,等离子增强化学气体沉淀技术)氮化硅薄膜沉积技术中，一般采用氨气和硅烷作为等离子反应气体源，采用石墨舟的石墨舟片作为硅片的承载板和射频电极，由石墨舟承载硅片在高温石英腔体内进行镀膜沉积。在镀膜沉积工序结束后，此时石墨舟的温度为300摄氏度左右，需要对高温的石墨舟进行冷却，以便进行后续生产工序。

现有技术中，一般将石墨舟放置在石墨舟冷却房中，通过大风力散热风机对处于高温状态的石墨舟进行散热降温。

采用现有技术对高温的石墨舟进行冷却散热，具有如下不足：

(1)散热速度慢，散热时间较长，影响石墨舟的周转；

(2)高温的石墨舟内的硅片的温度也很高，硅片呈弯曲变形、开口的状态，大风力风机在进行吹扫降温的过程中容易导致硅片从石墨舟的卡点掉落，造成硅片碎片，影响硅片质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种石墨舟冷却设备，能够在较短时间内完成对石墨舟的快速降温并降低碎片率。

如上构思，本实用新型所采用的技术方案是：

一种石墨舟冷却设备，所述石墨舟冷却设备内设有容纳腔，所述容纳腔内设置有散热风机，所述石墨舟冷却设备内还包括冷却管组件托盘，所述冷却管组件托盘可拆卸设于所述容纳腔内且位于所述散热风机的出口端，所述冷却管组件托盘上设有冷却管组件支撑件和通风孔，所述冷却管组件支撑件上设置有冷却管组件，所述冷却管组件呈蛇形排列，所述冷却管组件的一端为进水口，另一端为出水口。

可选地，所述容纳腔内在所述石墨舟冷却设备相对的两个侧壁均设置有滑槽，所述冷却管组件托盘的端部能够滑入所述滑槽内。

可选地，所述冷却管组件包括多个平行间隔设置的冷却管，多个所述冷却管依次连通并呈蛇形排列。

可选地，所述冷却管上设置有翅片。

可选地，沿所述冷却管的周向于所述冷却管的外侧等间隔设置有多个所述翅片。

可选地，相邻的两个所述冷却管之间的距离不小于10mm。

可选地，相邻连通的两个所述冷却管通过U型弯头管连通。

可选地，所述冷却管组件的所述进水口处设有进水管接头，所述冷却管组件的所述出水口处设有出水管接头。

可选地，所述散热风机设于所述容纳腔的底部，所述冷却管组件托盘位于所述散热风机的上方，所述冷却管组件设于所述冷却管组件托盘远离所述散热风机的一侧。

可选地，所述散热风机设于所述容纳腔的顶部，所述冷却管组件托盘位于所述散热风机的下方，所述冷却管组件设于所述冷却管组件托盘和所述散热风机之间。