[实用新型]一种六甲基二硅氮烷用反应装置

权利要求书

1.一种六甲基二硅氮烷用反应装置，其特征在于：包括反应筒，所述反应筒上安装有带有进料腔的进料体，所述进料体与所述反应筒连通，该进料体上还安装有液体进料机构和气体进料机构；所述液体进料机构包括储存有液体的储液罐、用于提供液体进料动力的高压泵以及用于运输液体的液体进料管，所述高压泵的输入端与所述储液罐相连通，该高压泵的输出端与所述液体进料管相连通；所述液体进料机构还包括安装在进料腔内的雾化管，所述雾化管安装在进料体的上侧壁，所述液体进料管远离高压泵的一端穿过进料体上侧壁与所述雾化管相连通，所述雾化管上还安装有用于将液体雾化并喷射的雾化喷嘴；所述气体进料机构包括储存有气体的储气罐、用于提供气体进料动力的抽气泵以及用于运输气体的气体进料管，所述抽气泵的输入端与所述储气罐相连通，该高压泵的输出端与所述气体进料管相连通；所述气体进料机构还包括安装在进料腔内的第一喷气管和若干个第二喷气管，所述第一喷气管安装在所述进料体侧壁上，各第二喷气管均垂直固定在所述第二喷气管上，所述气体进料管远离抽气泵的一端穿过进料体侧壁与第一喷气管相连通，所述第二喷气管下侧壁上均开设有喷气孔。

2.根据权利要求1所述的一种六甲基二硅氮烷用反应装置，其特征在于：所述气体进料管和液体进料管上在靠近进料体处均安装有阀门，且所述阀门为流量控制阀。

3.根据权利要求2所述的一种六甲基二硅氮烷用反应装置，其特征在于：所述气体进料管和液体进料管上均安装有用于检测并显示流量的流量计。

4.根据权利要求3所述的一种六甲基二硅氮烷用反应装置，其特征在于：所述反应筒上侧壁外安装有气体出料管，该反应筒下侧壁外安装有液体出料管和固体出料管，所述固体出料管在反应筒上的位置高于液体出料管，且所述气体出料管、液体出料管和固定出料管均与所述反应筒连通。

5.根据权利要求1至4任一项所述的一种六甲基二硅氮烷用反应装置，其特征在于：所述气体进料机构还包括用于调节控制气体温度的控温组件；所述控温组件包括密封安装的控温筒、用于调节温度的控温件以及用于导热的导热件，所述控温件安装在所述控温筒内侧壁，所述导热件设置在所述控温筒内且安装在所述控温件上，所述导热件截面呈环形且在控温筒内形成导热通道；所述控温筒安装在抽气泵和气体进料管之间，所述抽气泵的输出端与所述控温筒的连接且该抽气泵输出端与所述导热通道相连通，所述气体进料管与所述控温筒的连接且该气体进料管与所述导热通道相连通。

6.根据权利要求5所述的一种六甲基二硅氮烷用反应装置，其特征在于：所述导热通道内还设置有用于过滤气体中粉尘的过滤棉。