[实用新型]一种料架结构及探针台

说明书

本实用新型公开了一种料架结构及探针台。所述料架结构，用于固定料盒，所述料架结构包括延伸有第一限位凸块的底板；在所述底板上设置有与第一限位凸块对应的气缸活动挡部，所述气缸活动挡部能够止抵于料盒，使料盒夹持于气缸活动挡部与第一限位凸块之间；一种使用所述料架结构的探针台。增强放置于料架结构料盒的稳定性，保证料盒在使用过程中的位置精度；同时方便料盒取放。

技术领域

本实用新型涉及一种料架结构及探针台，属于探针台领域。

背景技术

现有的用于固定料盒的结构采用固定位置结构，如料架上设置的环绕料盒的凸块、料盒上的定位孔与料架上定位销连接，料盒在使用过程中容易因振动而改变位置，影响料盒的使用（从料盒取料或将料放回料盒）；而且，为了便于料盒从料架上取放，所述料盒与料架上的限位结构（料架上的凸块、料架上的定位销）设置有一定的间隙，造成料盒使用过程中振动造成位置不稳定。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型涉及一种料架结构及探针台。

本实用新型的技术方案为：一种料架结构，用于固定料盒，所述料架结构包括延伸有第一限位凸块的底板；在所述底板上设置有与第一限位凸块对应的气缸活动挡部，所述气缸活动挡部能够止抵于料盒，使料盒夹持于气缸活动挡部与第一限位凸块之间。

进一步的，所述气缸活动挡部与第一限位凸块分布于料盒上相对应的两侧。

进一步的，所述气缸活动挡部包括第一驱动气缸和连接于第一驱动气缸的止抵块，所述第一驱动气缸安装于底板上。

进一步的，所述底板还延伸有第二限位凸块和第三限位凸块，所述第二限位凸块与第三限位凸块分布于料盒两侧，所述第二限位凸块和第三限位凸块的连线垂直于第一限位凸块与气缸活动挡部连线。

进一步的，所述料架结构还包括安装于底板的活动挡料部，所述活动挡料部正对应并靠近料盒开口时能够阻挡取料或放料。

进一步的，所述活动挡料部包括安装于底板的第二驱动气缸和连接于所述第二驱动气缸的竖直挡部，所述第二驱动气缸带动竖直挡部沿料盒开口阻挡或错开。

进一步的，所述竖直挡部沿垂直于料盒开口的方向阻挡或错开料盒开口。

进一步的，所述料盒为多个，多个料盒开口方向平行。

进一步的，所述底板沿料盒排布方向运动连接于换位板，使所述料盒能够相对于换位板运动到达取料位置。

一种探针台，所述探针台包括上述任意一项所述的料架结构。

本实用新型的有益效果在于：增强放置于料架结构料盒的稳定性，保证料盒在使用过程中的位置精度；同时方便料盒取放。

附图说明

图1为料盒在直线驱动部驱动下运动到第一极限位置示意图；

图2为料盒在直线驱动部驱动下运动到第二极限位置示意图；

图3为料架结构示意图。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本实用新型的技术方案，下面将本实用新型的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。

如图1、图2和图3所示，一种料架结构100，用于固定料盒101，所述料盒101用于放置晶圆、铁环、绷环等，所述料架结构100包括延伸有第一限位凸块21的底板20；在所述底板20上设置有与第一限位凸块21对应的气缸活动挡部30，所述气缸活动挡部30能够止抵于料盒101，使料盒101夹持于气缸活动挡部30与第一限位凸块21之间，从而使料盒101稳定固定于料架结构100上。