[实用新型]一种多线切割晶片表面油砂清洗装置有效

专利信息
申请号: 201922020757.8 申请日: 2019-11-19
公开(公告)号: CN211071042U 公开(公告)日: 2020-07-24
发明(设计)人: 朱中晓;宋红杰 申请(专利权)人: 北京石晶光电科技股份有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B3/06
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人: 贾双明;寿宁
地址: 100086 北京市海*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 切割 晶片 表面 油砂 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种多线切割晶片表面油砂清洗装置,其特征在于:包括泡洗装置;泡洗装置包括用于放置清洗剂的清洗槽,摇柄,一端可转动地安装在清洗槽的侧壁上、另一端穿过清洗槽的另一个侧壁与摇柄相连接的翻转轴,固设在翻转轴上并随着翻转轴的转动而翻转的料台,安装有用于固定待洗物料的晶片固定块的料板;料板可拆卸地安装在料台上并随着料台的翻转将待洗物料浸入到清洗剂中或使待洗物料从清洗剂中离开。

2.根据权利要求1所述的一种多线切割晶片表面油砂清洗装置,其特征在于:还包括冲洗装置;该冲洗装置包括与清洗槽相连通的过滤池,安装在清洗槽和过滤池之间用于将清洗槽内的油砂进行过滤的过滤板,设置在清洗槽上方的喷淋头,一端与喷淋头的进口相连通、另一端与过滤池相连通的管路;管路上设有用于将过滤池中的清洗剂抽送至喷淋头中的油泵。

3.根据权利要求2所述的一种多线切割晶片表面油砂清洗装置,其特征在于:管路上还设有用于控制清洗剂进入到喷淋头的量从而控制喷淋头对待洗物料的喷洗强度的阀门。

4.根据权利要求2所述的一种多线切割晶片表面油砂清洗装置,其特征在于:清洗槽上还设有对该冲洗装置的喷淋时间进行限定的定时器。

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