[实用新型]坩埚生产用石英砂投料装置

说明书

本实用新型提供一种坩埚生产用石英砂投料装置，属于坩埚制造技术领域。包括底板及侧立板，所述底板与所述侧立板围绕形成半包围接口的石英砂槽；所述底板包括储砂部及出砂部，所述出砂部设置于所述储砂部的后端，且所述出砂部上设置有若干出砂孔。将石英砂倒入所述储砂部，作业人员从所述侧立板上握持所述坩埚生产用石英砂投料装置，并震动或抖动，石英砂由所述出砂孔呈流水状滑落至模具中，从而防止石英砂成团掉落，有效提高了坩埚内层厚度分布均匀性。

技术领域

本实用新型属于坩埚制造技术领域，具体涉及一种坩埚生产用石英砂投料装置。

背景技术

石英玻璃坩埚通常是Czochralski法(CZ法)拉制单晶硅棒的重要辅件,且是单晶硅生长过程中占据成本比重较高的辅料。由于单晶硅棒的级别不同，对于在拉制单晶硅棒过程中的杂质要求会不一样，因此会对石英坩埚的纯度有不同的要求。石英玻璃坩埚的纯度主要受所使用的原材料石英砂的纯度影响，不同纯度和级别的石英砂价格差异很大，高纯度的石英砂和普通石英砂的价格差距从几倍到几十倍不等。在这种价格差异下，为降低成本，多数情况下会采取在最内层使用高级别的石英砂，外层用一般级别的石英砂，以此达到纯度要求和成本之间的平衡。

目前通常使用普通的砂铲，直接往旋转的模具中投入石英砂，依靠离心力和热量让石英砂在各部位分布均匀。这种投入办法，无法确保最内层是高级别石英砂。且石英砂由于颗粒度很小，在静电作用下很容易结成团。在洒落的过程当中，不会是流水状落下，而是成团掉落。这种情况就会导致坩埚内层高纯度层的厚度分布不均匀，影响石英坩埚最内层的纯度分布。

发明内容

有鉴于此，本实用新型提供一种坩埚生产用石英砂投料装置，以解决现有技术中存在的石英砂投料过程中，石英砂成团掉落，导致坩埚内层厚度分布不均匀的技术问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种坩埚生产用石英砂投料装置，包括底板及侧立板，所述底板与所述侧立板围绕形成半包围接口的石英砂槽；所述底板包括储砂部及出砂部，所述出砂部设置于所述储砂部的后端，且所述出砂部上设置有若干出砂孔。

优选地，所述出砂孔成排设置，且所述出砂部上设置有至少一排所述出砂孔。

优选地，所述出砂部与所述储砂部之间形成一钝角夹角。

优选地，所述所述出砂部与所述储砂部之间形成150°～175°的夹角。

优选地，所述底板还包括挡砂部，所述挡砂部设置于所述出砂部后端，且与所述出砂部形成一夹角。

优选地，所述挡砂部与所述出砂部之间形成120°～150°的夹角。

优选地，所述挡砂部与所述出砂部的结合处开设有一排所述出砂孔。

优选地，所述挡砂部上靠近所述出砂部的一端开设有至少一排所述出砂孔。

优选地，所述侧立板的上端设置有握持部，所述握持部处设置有杂质收容槽。

优选地，所述杂质收容槽呈锥形设置，且所述杂质收容槽的口径小于底径。

由上述技术方案可知，本实用新型提供了一种坩埚生产用石英砂投料装置，其有益效果是：将所述底板分为储砂部及出砂部，在所述出砂部上设置有出砂孔，使用时，将石英砂倒入所述储砂部，作业人员从所述侧立板上握持所述坩埚生产用石英砂投料装置，并震动或抖动，石英砂由所述出砂孔呈流水状滑落至模具中，从而防止石英砂成团掉落，有效提高了坩埚内层厚度分布均匀性。

附图说明

图1是坩埚生产用石英砂投料装置的结构示意图。

图2是坩埚生产用石英砂投料装置的俯视图。

图3是图2所示的 A-A向剖面示意图。