[实用新型]一种用于观测旋转阴极端头的可视结构有效

专利信息
申请号: 201921987809.2 申请日: 2019-11-18
公开(公告)号: CN211005605U 公开(公告)日: 2020-07-14
发明(设计)人: 王桂荣;易立;徐浩;张朝晖 申请(专利权)人: 武汉长利新材料科技有限公司
主分类号: C23C14/52 分类号: C23C14/52
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 张天一
地址: 430090 湖北省*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 观测 旋转 阴极 端头 可视 结构
【说明书】:

本实用新型公开一种用于观测旋转阴极端头的可视结构,涉及镀膜设备技术领域,主要结构包括设置于水电端盖板上的观察窗,观察窗上设置有钢化夹胶玻璃,钢化夹胶玻璃周围设置防护垫以防止钢化玻璃碰撞炸裂,并在水电端盖板内侧设置夹板,通过螺栓将钢化夹胶玻璃固定于水电端盖板与夹板之间,在便于观察水电端漏水情况的同时,还能使钢化夹胶玻璃安装方便,且外观简约大方。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域,特别是涉及一种用于观测旋转阴极端头的可视结构。

背景技术

旋转阴极在Low-e镀膜行业因其利用率高、溅射效率高、功率稳定被广泛应用,但因旋转端头价格昂贵维护保养较为繁琐,所以在日常使用中要特别注意其使用状态,而现在腔盖需要考虑到安全问题,将端头裸露在外的水电端完全密封,或不对其做密封保护。前者因其密封状态无法观测端头是否有漏水情况,一旦漏水引发短路可能会出现巨大安全隐患,同时可能还会引发端头烧坏。后者因未密封生产过程中高压铜排直接暴露有安全隐患,再就是空气中灰尘进入不美观。

发明内容

为解决以上技术问题,本实用新型提供一种用于观测旋转阴极端头的可视结构,即方便对水电端进行观察,又不存在安全隐患。

为实现上述目的,本实用新型提供了如下方案:

本实用新型提供一种用于观测旋转阴极端头的可视结构,包括设置于水电端盖板上的观察窗,所述观察窗上设置有玻璃。

可选的,所述观察窗内侧设置有夹板,所述玻璃设置于所述夹板与所述水电端盖板之间。

可选的,所述夹板为设置于所述观察窗内侧左右两端的板型件,所述板型件一端与所述水电端盖板固定连接。

可选的,所述水电端盖板与所述板型件上相对应的设置有通孔,通过向所述通孔中设置螺栓,将所述玻璃卡至在所述水电端盖板与所述板型件之间。

可选的,所述玻璃两侧周围设置有防护垫。

可选的,所述防护垫为橡胶垫。

可选的,所述观察窗设置于所述水电端盖板的通风口上方。

可选的,所述玻璃为钢化夹胶玻璃。

可选的,所述玻璃采用280mm×280mm,总厚度为6-10mm的钢化夹胶玻璃。

本实用新型相对于现有技术取得了以下技术效果:

本实用新型中的用于观测旋转阴极端头的可视结构主要结构包括设置于水电端盖板上的观察窗,观察窗上设置有钢化夹胶玻璃,钢化夹胶玻璃周围设置防护垫以防止钢化玻璃碰撞炸裂,并在水电端盖板内侧设置夹板,通过螺栓将钢化夹胶玻璃固定于水电端盖板与夹板之间,在便于观察水电端漏水情况的同时,还能使钢化夹胶玻璃安装方便,且外观简约大方,使用夹胶玻璃防止特殊情况下钢化玻璃爆裂落入端头底座损坏端头或造成安全隐患。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型用于观测旋转阴极端头的可视结构的结构示意图;

图2为本实用新型用于观测旋转阴极端头的可视结构的俯视结构示意图。

附图标记说明:1、水电端盖板;2、观察窗;3、螺栓;4、通风口;5、螺帽;6、夹板;7、钢化夹胶玻璃;8、防护垫。

具体实施方式

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