[实用新型]等离子体发生器

权利要求书

1.一种等离子体发生器，其特征在于，包括：

阴极部分(100)，所述阴极部分(100)包括阴极座(110)和阴极头(120)；所述阴极座(110)包括座体(112)，所述座体(112)包括冷却通道，所述冷却通道包括进水口和出水口；所述阴极头(120)与所述座体(112)连接，并位于所述冷却通道的一端；

引弧部分(200)，所述引弧部分(200)包括引弧外壳(210)和引弧环(220)；所述引弧环(220)设置在所述引弧外壳(210)内，所述引弧环(220)包括中部通孔，所述中部通孔沿所述引弧环(220)的轴向延伸；所述引弧环(220)包括相对设置的第一端面和第二端面；

所述引弧外壳(210)与所述阴极座(110)绝缘连接；所述引弧环(220)的第一端面与所述阴极头(120)相对间隔设置；以及

阳极部分(300)，所述阳极部分(300)包括阳极外壳(310)和阳极本体(320)，所述阳极本体(320)设置在所述阳极外壳(310)内，并与所述阳极外壳(310)连接；所述阳极本体(320)包括电弧通道(326)，所述电弧通道沿所述阳极本体(320)的长度方向延伸；

所述阳极外壳(310)与所述引弧外壳(210)绝缘连接，所述阳极本体(320)的阳极头(324)与所述引弧环(220)的第二端面相对间隔设置；所述电弧通道与所述中部通孔同轴设置；

所述引弧外壳(210)上设置有工作气体进气孔(2111)，所述工作气体进气孔(2111)设置在所述引弧环(220)与所述阳极头(324)之间，用于导入工作气体。

2.根据权利要求1所述的等离子体发生器，其特征在于：

所述引弧外壳(210)为圆筒状结构，包括同轴设置的内筒(211)、连接环(212)和外部法兰(213)，所述内筒(211)设置在所述外部法兰(213)中，所述内筒(211)的一端通过所述连接环(212)与所述外部法兰(213)的一端连接，使得所述内筒(211)、所述外部法兰(213)及所述连接环(212)围合形成环形槽；

所述外部法兰(213)与所述阳极外壳(310)连接，所述外部法兰(213)与所述阳极外壳(310)之间设置有绝缘垫(250)，所述绝缘垫(250)将所述环形槽密封；所述外部法兰(213)上连接有工作气体进气管(260)，所述工作气体进气管(260)与所述环形槽连通；

所述内筒(211)的内孔为阶梯孔，所述内孔中设置有定位凸台，所述定位凸台靠近所述阳极头(324)设置；所述引弧环(220)的第二端面与所述定位凸台抵接；

所述内筒(211)上设置有多个所述工作气体进气孔(2111)，所述工作气体进气孔(2111)沿所述内筒(211)的切向延伸，并从所述内筒(211)的外表面延伸至所述定位凸台的内表面；

所述阳极头(324)为圆锥形；所述电弧通道靠近所述阳极头(324)的一端设置有倒角。

3.根据权利要求1或2所述的等离子体发生器，其特征在于：

所述引弧环(220)上设置有环形水槽(221)，所述环形水槽(221)沿所述引弧环(220)的外圆周面延伸；所述引弧外壳(210)将所述环形水槽(221)封闭形成密闭的冷却空间；

所述引弧外壳(210)上还设置有引弧进水管(230)和引弧出水管(240)，所述引弧进水管(230)和所述引弧出水管(240)分别与所述冷却空间连通。

4.根据权利要求1所述的等离子体发生器，其特征在于：

所述阴极座(110)还包括端盖(111)、内部水流管(113)、阴极进水管(114)及阴极出水管(115)，所述端盖(111)与所述冷却通道的一端密封连接，所述阴极头(120)与所述冷却通道的另一端密封连接；

所述内部水流管(113)设置在所述冷却通道中，所述内部水流管(113)与所述冷却通道的内壁间隔设置形成水流通道，所述内部水流管(113)的一端与所述端盖(111)密封连接，另一端延伸至所述阴极头(120)处，并与所述阴极头(120)间隔设置；

所述阴极出水管(115)与所述水流通道连通，所述阴极进水管(114)与所述内部水流管(113)连通。