[实用新型]一种多功能键合点测试装置

说明书

本实用新型公开了一种多功能键合点测试装置，包括Z轴、安装于所述Z轴上的键合点测试机构；所述键合点测试机构包括分度盘组件、挂板、底板、以及可拆卸安装于所述底板上用于测试键合点的若干测试头，其中，所述分度盘组件与所述Z轴滑动连接，所述挂板与所述分度盘组件转动连接，所述底板与所述挂板固定连接。相对于现有技术，本实用新型实现了通过集成多个测试头降低工作量，提升工作效率，并通过合理分配配重提升测试敏捷性和准确性。

技术领域

本实用新型涉及半导体器件检测技术领域，特别涉及一种多功能键合点测试装置。

背景技术

半导体器件存在许多类型的测试键合点强度的结点测试，例如，剪切力测试、拉力测试和推力测试等测试方法。由于键合结点尺寸非常小，因此要求检测这些结点的结合强度的设备具有可控的高精度定位。

目前的测试装置采用单一测试头模块，单一测试头模块不能同时满足多种测试方法和测试的力学负荷，在进行不同类型测试时，往往是通过更换模块来实现，增加了操作的工作量。此外，目前的可旋转切换测试传感器的测试模块装置存在旋转切换装置过度集中设置于测试传感器模块内部的现象，从而导致这类型多功能旋转切换测试传感器的复合模块笨重。且重量过大多功能复合测试模块安装到设备的Z轴上直接导致Z轴负重过大且前后重量严重不平衡，影响测试设备Z轴运行的平稳性、敏捷性，关键是影响到该类设备精密剪切测试的微接触定位动作的可靠性、精密性。(集成电路金球焊点剪切力测试的剪切高度通常在3-5微米，1个微米的剪切高度差异将导致力学测试较大差异，足以让测试结果误判)。另外，设置在复合、多功能测试模块内部的旋转机构由于位置范围受限，旋转轴的力学刚性不足、负荷极限低，直接导致该类型复合旋转模块难以达到50KG以上的测试负荷，影响了测试使用的范围。比如常见的显示屏驱动IC的剪切力、电功率型器件的芯片剪切力力测试一般在100KG-200KG之间，电动汽车的功率器件(IGBT)其剪切力已经到300-400KG。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种多功能键合点测试装置，旨在实现通过集成多个测试头降低工作量，提升工作效率，并通过合理分配配重提升测试敏捷性和准确性。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种多功能键合点测试装置，包括Z轴、安装于所述Z轴上的键合点测试机构；所述键合点测试机构包括分度盘组件、挂板、底板、以及可拆卸安装于所述底板上用于测试键合点的若干测试头，其中，所述分度盘组件与所述Z轴滑动连接，所述挂板与所述分度盘组件转动连接，所述底板与所述挂板固定连接。

本实用新型进一步的技术方案是，所述键合点测试机构的重量沿所述Z轴的轴线两侧对称分配。

本实用新型进一步的技术方案是，所述分度盘组件包括与所述Z轴滑动连接的轴承座、安装于所述轴承座的两端的轴承、安装于所述轴承内的转轴，所述挂板与所述转轴连接。

本实用新型进一步的技术方案是，所述轴承座上设置有用于驱动所述转轴转动的驱动机构。

本实用新型进一步的技术方案是，所述驱动机构包括安装于所述轴承座上的第一驱动电机、与所述第一驱动电机连接的第一转轮、与所述第一转轮连接的第二转轮，所述第二转轮与所述转轴连接。

本实用新型进一步的技术方案是，所述轴承座上还设置有用于固定所述底板的固定组件。

本实用新型进一步的技术方案是，所述固定组件包括设置于所述轴承座上的导轨座、安装于所述导轨座上的导轨、与所述导轨滑动连接的第一滑块、与所述第一滑块固定连接的楔子组件，所述底板的背面于所述若干测试头的安装位置设置有若干与所述楔子组件对应的旋转卡位组件。

本实用新型进一步的技术方案是，所述轴承座上还设置有用于驱动所述第一滑块前后运动的第二驱动电机。

本实用新型进一步的技术方案是，所述若干测试头为四个，所述四个测试头为剪切力测试头、或者拉力测试头、或者推力测试头中的一种或几种。