[实用新型]再生气预热装置

说明书

本实用新型公开了再生气预热装置，属于半导体技术领域。它包括纯化罐，所述纯化罐包括罐体和外壳，所述罐体位于外壳的内部，所述纯化罐的顶部设有进气管。本实用新型先由再生气经过与装有再生气源的储罐相连通的再生进气管接头，进入盘管中，位于外壳内部的盘管一端增加了预热夹块，且预热夹块的一端位于加热器的内部，启动加热器，加热器将热量传递给预热夹块，预热夹块再通过盘管将热量传递给盘管内部的再生气体，保证在进入罐体之前的再生气温度得到提高，直到温度得到提高再生气进入罐体，从而保证再生工艺的稳定进行，最后从再生出气管接头排出。

技术领域

本实用新型涉及再生气预热装置，属于半导体技术领域。

背景技术

在纯化再生工艺中，由于进入纯化器内部的气体流量较大，且气体温度低于纯化器内部纯化再生时的温度，从而不能确保该再生工艺的稳定进行。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题在于：提供再生气预热装置，它解决了因进入纯化器内部的气体流量较大，且气体温度低于纯化器内部纯化再生时的温度，从而不能确保该再生工艺稳定进行的问题。

本实用新型所要解决的技术问题采取以下技术方案来实现：

再生气预热装置，包括纯化罐，所述纯化罐包括罐体和外壳，所述罐体位于外壳的内部，所述罐体外侧壁顶部固定连接有加热器，所述罐体的顶部安装有预热夹块，且所述预热夹块的底端侧壁还与加热器的内壁相接触，所述预热夹块的外部固定套接有盘管，所述盘管的一端贯穿并伸出外壳，位于外壳内部的盘管一端的端部与罐体内部相连通。

作为优选实例，所述盘管的外侧壁与外壳的连接处为密封连接。

作为优选实例，位于外壳外部的盘管端部连通再生进气管接头。

作为优选实例，所述罐体的底部还连通设有再生出气管接头，所述再生出气管接头也贯穿并伸出外壳，且所述再生出气管接头的外侧壁与外壳的连接处也为密封连接。

作为优选实例，所述纯化罐的顶部连通有出气管，所述纯化罐的底部连通有进气管，且所述进气管外壁和出气管外壁分别与外壳连接处均为密封连接。

本实用新型的有益效果是：本实用新型先由再生气经过与装有再生气源的储罐相连通的再生进气管接头，进入盘管中，位于外壳内部的盘管一端增加了预热夹块，且预热夹块的一端位于加热器的内部，启动加热器，加热器将热量传递给预热夹块，预热夹块再通过盘管将热量传递给盘管内部的再生气体，保证在进入罐体之前的再生气温度得到提高，直到温度得到提高再生气进入罐体，从而保证再生工艺的稳定进行，最后从再生出气管接头排出。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1的A-A向截面图；

图3为图1中B部分的结构示意图；

图4为图2中C部分的结构示意图。

图中：纯化罐1、罐体2、外壳3、进气管4、盘管5、弯管6、预热夹块7、加热器8、再生进气管接头9、再生出气管接头10。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

如图1-4所示，再生气预热装置，包括纯化罐1，纯化罐1包括罐体2和外壳3，罐体2位于外壳3的内部，罐体2外侧壁顶部固定连接有加热器8，罐体2的顶部安装有预热夹块7，且预热夹块7的底端侧壁还与加热器8的内壁相接触，预热夹块7的外部固定套接有盘管5，盘管5的一端贯穿并伸出外壳3，位于外壳3内部的盘管5一端的端部与罐体1内部相连通。

盘管5的外侧壁与外壳3的连接处为密封连接。