[实用新型]一种宽量程的气体流量传感器

说明书

本实用新型公开了一种宽量程的气体流量传感器，其在文丘里管上安装有压力传感器、质量传感器，在文丘里管的进口端内安装一个压力传感器，在文丘里管中间管道安装一个压力传感器，质量传感器的通道分别与文丘里管的前后端连接。本实用新型在小流量区采用热式质量传感器、大流量区采用压力传感器，由于两种传感器的流量比不同，产生流量比的叠加效应，从而扩展了测量量程。

技术领域

本实用新型涉及气体流量传感器，本实用新型涉及一种宽量程的气体流量传感器。

背景技术

气体流量计是计量气体流量的仪表，安装在管路中记录流过的气体量。常见的气体流量计有靶式流量计、涡街流量计、V锥流量计、一体化孔板流量和计威力巴流量计，这些流量计计量的对象可为液体、气体或者气液混合体。

目前，差压式两相流参数测量技术应用局部的单一差压信号来计算气体的量程，测量出的量程范围小。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种宽量程的气体流量传感器。

本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案是：

本实用新型的一种宽量程的气体流量传感器，其在文丘里管上安装有压力传感器、质量传感器，在文丘里管的进口端内安装一个压力传感器，在文丘里管中间管道安装一个压力传感器，质量传感器的通道分别与文丘里管的前后端连接。在文丘里管两处不同的安装压力传感器，测量出不同的压力数据，从而可以测量出不同的量程，再增设一个质量传感器，再次扩展量程。

质量传感器，其包括流量传感芯片、信号放大电路、四芯插座插头，在管道上开设有与气体通道的通孔，在气体通道中安装流量传感芯片，流量传感芯片通过信号放大PCB板连接四芯插座插头。通过传感芯片测量数据，敏感度强，测量的范围大，在通过信号放大后输出给显示仪表。质量传感器的量程比达到1:200。

在气体通道两端的通孔内安装过滤片，过滤片过滤气体中的杂质，减少杂质污染传感芯片，延长传感芯片寿命及不影响测量效果。

流量传感芯片是在硅基片上设置绝缘薄膜，热敏电阻采用MEMS工艺镀膜在薄膜。

在安装流量传感芯片的安装板设有一层绝热膜。通过绝热膜隔绝管道中的热气体对信号放大PCB板上的电路影响。

信号放大PCB板是上设有的信号放大电路与流量传感芯片的热敏电阻连接。信号放大电路通过滤波电路对信号进行滤波处理，再进行功放电路放大处理后经四芯插座插头发给外部的显示仪表。

压力传感器是一种扩散硅压力传感器，量程比为1:5。

本实用新型具有的有益效果是：

本实用新型在小流量区采用热式质量传感器、大流量区采用压力传感器，由于两种传感器的流量比不同，产生流量比的叠加效应，从而扩展了测量量程，量程比达到1:1000。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中：1、文丘里管，2、压力传感器，3、质量传感器，4、过滤片，5、流量传感芯片，6、信号放大PCB板，7、四芯插座插头，8、气体通道，9、通孔。

具体实施方式

以下结合附图和实施方式对本实用新型作进一步的说明。

如图1所示，本实用新型一种宽量程的气体流量传感器，其在文丘里管上安装有压力传感器、质量传感器，在文丘里管的进口端内安装一个压力传感器，在文丘里管中间管道安装一个压力传感器，质量传感器的通道分别与文丘里管的前后端连接。