[实用新型]一种新型光刻膜加工转运盒

说明书

本实用新型公开了一种新型光刻膜加工转运盒，包括顶板与拿持把手，所述顶板的上端设置有拿持把手，所述顶板与拿持把手通过内螺纹槽旋转连接，所述顶板的左右两端各设置有一个侧板，所述侧板与顶板焊接，本实用新型中通过在该转运盒的侧板的一侧设置有限位杆，并且该限位杆可以在侧板的内部左右的运动，在该限位杆左右运动的过程中可以使得卡槽的长度得到改变，从而可以使得通过该限位杆可以有效的改变该转运盒的长度的变化，本实用新型中通过将传统的直通型的卡槽更改为现有的转折状的卡槽，这样在进行放置光刻膜产品的时候可以使得该转折型的卡槽避免在转运的过程中出现滑落的现象。

技术领域

本实用新型属于光刻膜技术相关技术领域，具体涉及一种新型光刻膜加工转运盒。

背景技术

在硅等基体材料上涂覆光致抗蚀剂，然后用极限分辨率极高的能量束来通过掩模对光致抗蚀剂层进行曝光。经显影后，在光致抗蚀剂层上获得与掩模图形相同的及微细的几何图形，在利用刻蚀等方法，在工件材料上制造出微型结构。

现有的光刻膜加工转运盒技术存在以下问题：现有的光刻膜加工转运盒在进行使用放置样品的时候，可能会由于样品的长度不同这样需要不同的转运盒进行工作，而且在进行转运的时候可能会由于晃动出现样品脱落，传统的固定装置太过于繁琐可能会导致不能很好的工作的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型光刻膜加工转运盒，以解决上述背景技术中提出的现有的光刻膜加工转运盒在进行使用的时候可能会出现脱落的现象并且不能使用同一个转运盒转运不同长度的样品的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型光刻膜加工转运盒，包括顶板与拿持把手，所述顶板的上端设置有拿持把手，所述顶板与拿持把手通过内螺纹槽旋转连接，所述顶板的左右两端各设置有一个侧板，所述侧板与顶板焊接，两侧所述侧板的右端的内侧各设置有一个限位杆，两侧所述侧板的内侧的下端设置有底板，所述底板与侧板焊接固定。

优选的，所述拿持把手的组成包括有第一固定座、握把与第二固定座，所述第一固定座的上端设置有握把，所述握把的右端的下侧设置有第二固定座，所述拿持把手通过第一固定座与顶板通过内螺纹槽旋转连接。

优选的，所述限位杆的组成包括有杆体、紧固螺钉与卡块，所述杆体的右端的表侧由上至下依次等间距设置有卡块，所述杆体的内部的上下两端各设置有一个紧固螺钉，所述限位杆通过紧固螺钉与侧板固定连接。

优选的，所述侧板的组成包括有滑槽、板体与卡槽，所述板体的左端的表侧的上下两端各设置有一个滑槽，上下所述滑槽的内侧均匀设置有若干个卡槽，所述侧板通过滑槽与限位杆通过螺栓固定连接。

优选的，所述底板与顶板分别设置在侧板的内侧的上端与下端，所述底板与顶板的形状不同，所述底板为矩形结构，所述顶板为凹型结构。

优选的，所述侧板共设置有两块，两块所述侧板的内侧均设置有长条状的转折型槽台，两块侧板的尺寸与规格均相同。

优选的，所述限位杆为长条状的矩形体结构，所述限位杆可以在侧板的内侧前后移动，所述限位杆在前后移动的过程中使得侧板内部的槽台的长度发生变化。

优选的，所述拿持把手为长条状结构，所述拿持把手的下端的表侧设置有防滑条纹，所述拿持把手通过内螺纹槽连接在顶板的上端的表侧。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种新型光刻膜加工转运盒，具备以下有益效果：

（1）、本实用新型中通过在该转运盒的侧板的一侧设置有限位杆，并且该限位杆可以在侧板的内部左右的运动，在该限位杆左右运动的过程中可以使得卡槽的长度得到改变，从而可以使得通过该限位杆可以有效的改变该转运盒的长度的变化；