[实用新型]一种基于新型等离子清洗机的移送机构有效
申请号: | 201921741323.0 | 申请日: | 2019-10-17 |
公开(公告)号: | CN210701512U | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
发明(设计)人: | 张春辉 | 申请(专利权)人: | 江苏胜辉半导体设备有限公司;张春辉 |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00;B08B13/00 |
代理公司: | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 11514 | 代理人: | 王莹 |
地址: | 221000 江苏省徐州市经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 新型 等离子 清洗 移送 机构 | ||
本实用新型公开了一种基于新型等离子清洗机的移送机构,包括安装架、水平移动组件和竖直移动组件;所述水平移动组件包括第一滑轨、第一滑块、丝杆、丝杆套、固定架和电机;所述第一滑轨、丝杆和电机均安装于所述安装架的侧面,且第一滑轨和电机分别与安装架固定连接以及丝杆与安装架转动连接;第一滑块和丝杆套固定安装于所述固定架,且第一滑块滑动于第一滑轨以及丝杆套套设于丝杆,通过电机带动丝杆转动进而使固定架沿着丝杆水平移动;所述竖直移动组件包括第二滑轨、第二滑块和伸缩缸;第二滑块固定于所述固定架,第二滑轨与第二滑块滑动连接以及伸缩缸连接于固定架和第二滑轨之间。本实用新型完成了料板的移动,满足清洗动作的需求。
技术领域
本实用新型涉及离子清洗机技术领域,具体涉及一种基于新型等离子清洗机的移送机构。
背景技术
等离子清洁机也叫等离子表面处理仪,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。新型等离子清洗机主要是用于L/F、substrate、BGA这三类封装基板的清洗,封装基板的宽度范围为:40~100mm,厚度范围为:0.1~2mm,长度范围为120~270mm。
上述新型等离子清洗机的清洗腔内设有腔体上盖和腔体下盖,腔体下盖安装在机架上,腔体上盖通过机架上的升降装置实现与腔体下盖的闭合和打开,进而在腔体上盖和腔体下盖之间形成清洗通道。清洗通道的两端均设有料盒,料板即封装基板,从左侧的料盒经过清洗通道后再进入右端的料盒,从而完成清洗。料板需要在上述过程中完成移送,并且移送过程对位置的准确度要求高,因此需要设计相应的移送组件完成料板的移送。
实用新型内容
针对现有技术中的缺陷,本实用新型提供了一种基于新型等离子清洗机的移送机构,以完成料板的移动,满足清洗动作的需求。
本实用新型提供了一种基于新型等离子清洗机的移送机构,包括安装架、水平移动组件和竖直移动组件;所述水平移动组件包括第一滑轨、第一滑块、丝杆、丝杆套、固定架和电机;所述第一滑轨、丝杆和电机均安装于所述安装架的侧面,且第一滑轨和电机分别与安装架固定连接以及丝杆与安装架转动连接;所述第一滑块和丝杆套固定安装于所述固定架,且第一滑块滑动于第一滑轨以及丝杆套套设于丝杆,通过电机带动丝杆转动进而使固定架沿着丝杆水平移动;
所述竖直移动组件包括第二滑轨、第二滑块和伸缩缸;所述第二滑块固定于所述固定架,所述第二滑轨与第二滑块滑动连接以及伸缩缸连接于固定架和第二滑轨之间,通过伸缩缸伸缩进而带动第二滑轨以及固定于第二滑轨上端的夹持机构沿着第二滑块竖直滑动。
本实用新型的有益效果体现在:
本设备的安装架固定于新型等离子清洗机机床且使水平移动组件和竖直移动组件位于腔体上盖和腔体下盖,而使夹持机构位于腔体上盖和腔体下盖之间,即清洗通道中。通过电机带动丝杆转动,而固定架将沿着水平方向即清洗通道移动,同时夹持机构带动料板实现料板的移送。当完成一次移动后,水平移动组件带动持机构至最右端,然后伸缩杆伸出以使夹持机构上升并高于腔体上盖,再通过水平移动组件使夹持机构移动至最左端,最后通过竖直移动组件使夹持机构下降至清洗通道的最左端,准备下次料板的移送。重复以上操作,自动完成左侧料盒的料板经过清洗通道后再进入右端料盒,移送料板的动作控制准确,满足清洗动作的需求。
优选地,所述第一滑轨设有两个且两个第一滑轨平行固定于安装架的侧面。
由于水平移动的距离较长,而且竖直移动组件的较重,采用双第一滑轨的设计以提高移动的平稳性,进一步提高移送动作的准确度。
优选地,所述丝杆的两端均通过丝杆座安装于其中一个所述第一滑轨的两端。
丝杆座内设有径向轴承,丝杆与径向轴承的内环固定连接,径向轴承的外环固定于丝杆座的内部,从而使丝杆与第一滑轨形成转动连接。
优选地,所述电机通过同步带和同步轮与所述丝杆的一端传动连接。
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