[实用新型]一种易量产的可调谐垂直光路窄线宽外腔激光器

权利要求书

1.一种易量产的可调谐垂直光路窄线宽外腔激光器，包括激光器壳体(1)，其特征在于：所述激光器壳体(1)的内壁左侧固定安装有VECSEL芯片(2)，所述VECSEL芯片(2)的右侧固定安装有光阑(3)，所述激光器壳体(1)上下两侧的内壁上均固定安装有位于光阑(3)右侧的限位块(4)，所述限位块(4)的相对侧固定安装有准直透镜(5)，所述激光器壳体(1)上下两侧的内壁上均活动安装有位于准直透镜(5)右侧的调谐块(6)，所述调谐块(6)的相对侧固定安装有滤光片(7)，所述激光器壳体(1)上下两侧的内壁上均活动安装有位于滤光片(7)右侧的活动块(8)，所述活动块(8)的相对侧固定安装有反射镜(9)，所述反射镜(9)的右侧固定安装有压电陶瓷片(10)，所述激光器壳体(1)的右侧活动安装有与压电陶瓷片(10)固定连接的出光镜筒(11)。

2.根据权利要求1所述的一种易量产的可调谐垂直光路窄线宽外腔激光器，其特征在于：所述激光器壳体(1)的内壁上开设有滑槽，且活动块(8)通过滑槽与壳体(1)活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种易量产的可调谐垂直光路窄线宽外腔激光器，其特征在于：所述VECSEL芯片(2)的基板上固定安装有VECSEL激光器，VECSEL激光器的结构中包含衬底，背光面高反射率分布式布拉格反射区(DBR)，出光面低反射率分布式布拉格反射区(DBR)，有源区、抗氧化层和电极，相对于一般的VCSEL激光器芯片，其有源层的两侧中只有一侧是DBR高反射率区，另一侧只有少数层数的DBR，构成中低反射率，通过抗氧化层保护后直接出光。

4.根据权利要求1所述的一种易量产的可调谐垂直光路窄线宽外腔激光器，其特征在于：所述光阑(3)的横截面呈圆状，且光阑(3)位于述VECSEL芯片(2)的出光处。

5.根据权利要求1所述的一种易量产的可调谐垂直光路窄线宽外腔激光器，其特征在于：所述滤光片(7)与激光器壳体(1)活动连接，且滤光片(7)位于激光器壳体(1)处于同一条中心线上。

6.根据权利要求1所述的一种易量产的可调谐垂直光路窄线宽外腔激光器，其特征在于：所述准直透镜(5)的左侧为平面，且准直透镜(5)的右侧为圆弧状。

7.根据权利要求1所述的一种易量产的可调谐垂直光路窄线宽外腔激光器，其特征在于：所述反射镜(9)上镀有一定反射率的反射膜，且反射膜呈均匀分布于反射镜(9)的外侧，反射镜(9)的内侧镀有高透过率的增透膜。

8.根据权利要求1所述的一种易量产的可调谐垂直光路窄线宽外腔激光器，其特征在于：所述压电陶瓷片(10)的中心处是挖空透光的，且压电陶瓷片(10)呈圆环状。

9.根据权利要求1所述的一种易量产的可调谐垂直光路窄线宽外腔激光器，其特征在于：所述出光镜筒(11)外侧采用光滑设计，且出光镜筒(11)通过螺纹与压电陶瓷片(10)进行固定连接。