[实用新型]旋转式槽体自动开关盖机构

说明书

本实用新型公开了旋转式槽体自动开关盖机构，包括两个端盖，两个所述端盖位于槽体的上方槽口位置处，两个所述端盖的两侧均设置有转臂，所述端盖通过连接板与转臂固定连接，其中一个所述转臂的一侧转动连接有支撑块，另一个所述转臂的一侧连接有联轴器，所述联轴器的一侧固定安装有旋转气缸；使用旋转气缸驱动方式，可以改进端盖开关的稳定性、改善开启角度和紧密性问题，并提高工作效率；该开关盖机构降低工人的劳动强度、提高工作效率，端盖能够在更小的空间内实现闭合、打开动作，可以适应各种湿式制程设备中开关盖所允许安装空间狭小的安装环境，满足端盖开启时自身高度要求、角度和紧密性要求。

技术领域

本实用新型涉及半导体湿式制程设备，尤其涉及一种旋转式槽体自动开关盖机构。

背景技术

当下各湿式制程设备开关盖方式尚不完善，且由于所允许安装空间狭小、端盖开启时自身高度要求、角度和紧密性要求等众多因素，致使许多开关盖方式尚不能满足要求。由于传统机构大部分运用人工、拉伸气缸和连杆来实现端盖的开关运动，由于重力、伸拉气缸和连杆机构本身的限制性，不仅给工人操作带来不便，且使端盖开启自身高度、角度和紧密性受到极大约束。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种旋转式槽体自动开关盖机构，端盖的开关使用旋转气缸驱动方式，可以改进端盖开关的稳定性、改善开启角度和紧密性问题，并提高工作效率；特殊的端盖及其与转臂的连接设计，可以使端盖在更小的空间内实现闭合、打开动作，并可调控端盖开启时的自身高度；该开关盖机构无需人工手动对端盖进行开关，可以适应各种湿式制程设备中开关盖所允许安装空间狭小的安装环境，满足端盖开启时自身高度要求、角度和紧密性要求，解决了现有湿式制程设备开关盖需要人力开关，劳动强度大，工作效率低，以及无法适应狭小的安装环境的技术问题。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

旋转式槽体自动开关盖机构，包括两个端盖，两个所述端盖位于槽体的上方槽口位置处，两个所述端盖的两侧均设置有转臂，所述端盖通过连接板与转臂固定连接，其中一个所述转臂的一侧转动连接有支撑块，另一个所述转臂的一侧连接有联轴器，所述联轴器的一侧固定安装有旋转气缸。

进一步的，所述端盖包括连接部和位于连接部一侧的遮盖部，所述连接部和遮盖部为一体结构，所述连接部的上表面开设有两个第一安装槽，所述第一安装槽的槽口呈矩形，且两个所述第一安装槽分别设置与连接部上表面的两侧边缘位置处，所述第一安装槽的中部开设有第一条形通槽。

进一步的，所述连接部的横截面为弧形结构。

进一步的，所述连接板包括第一连接臂和第二连接臂，所述第二连接臂固定连接于第一连接臂的一端，且所述第一连接臂和所述第二连接臂相互垂直，所述第一连接臂上开设有两个第一安装孔，所述第二连接臂上开设有第二条形通槽。

进一步的，所述第一连接臂设置于第一安装槽内，所述第一连接臂与第一安装槽相适配，且所述第一连接臂和端盖的连接部通过第一螺栓固定连接，所述第一螺栓贯穿安装于第一安装孔和第一条形通槽内，且所述第一螺栓与第一安装孔、第一条形通槽相适配。

进一步的，所述转臂包括臂体和连接轴，所述连接轴固定连接于臂体的一侧，所述臂体一侧开设有第二安装槽，所述第二安装槽的槽口呈矩形，所述第二安装槽上开设有两个第二安装孔，所述第二安装孔贯穿臂体，第二连接臂设置于第二安装槽内，所述臂体与第二连接臂之间通过第二螺栓固定连接，所述第二螺栓贯穿安装于第二安装孔和第二条形通槽内，且所述第二螺栓与第二安装孔、第二条形通槽相适配。

进一步的，其中一个所述转臂的连接轴与支撑块转动连接，另一个所述转臂的连接轴与联轴器的一端固定连接，所述联轴器的另一端与旋转气缸的旋转头固定连接。

进一步的，所述旋转气缸和支撑块分别固定安装于槽体的两个对称槽壁上。