[实用新型]槽体支撑模组

说明书

本实用新型公开了槽体支撑模组，包括定位块、焊接块、支撑块和顶盖，支撑块设置于定位块的上表面，顶盖设置于支撑块的上表面中部，焊接块与定位块之间通过第一螺栓固定连接，定位块和支撑块之间通过第二螺栓固定连接，支撑块和顶盖之间通过螺钉固定连接；本实用新型针对半导体湿式制程中槽体支撑方式的改进，利用各部件之间的移动与配合，从而实现槽体在一定范围内的上下、左右、前后的调整的目的，不仅可以在一定范围内对槽体位置进行调整，提高其精确度，而且可以使槽体有效应对多方面的干扰，适应性强，并方便工作人员的后期工作；顶盖和支撑块之间通过螺钉，便于拆卸，从而方便槽体的安装。

技术领域

本实用新型涉及半导体湿式制程设备技术领域，尤其涉及一种槽体支撑模组。

背景技术

半导体湿式制程使，槽体需要通过支撑模组进行支撑，目前湿式制程中槽体支撑部件教死板，以至槽体位置不宜调整，给安装、调试、生产等带来很大的不便。

实用新型内容

为了解决上述的技术问题，本实用新型提供了一种槽体支撑模组，通过转动第二螺栓来调节支撑块和定位块之间的距离，对槽体进行上、下方向的位置调整，通过调节第二螺栓在条形孔状的第二螺栓孔内位置，对支撑块进行移动，对槽体进行左、右方向的位置调整，通过转动第一螺栓来调节定位块和焊接块之间的距离，对槽体进行前、后方向的位置调整，解决了现有槽体支撑模组过于死板，以至槽体的位置不宜调整，给安装、调试、生产等带来很大的不便的技术问题。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

槽体支撑模组，包括定位块、焊接块、支撑块和顶盖，所述支撑块设置于定位块的上表面，所述顶盖设置于支撑块的上表面中部，所述焊接块与定位块之间通过第一螺栓固定连接，所述定位块和支撑块之间通过第二螺栓固定连接，所述支撑块和顶盖之间通过螺钉固定连接。

进一步的，所述定位块包括纵板和横板，所述横板固定连接于纵板的顶部，且所述横板与纵板相互垂直，所述纵板上开设有两个第一螺栓孔，所述第一螺栓孔贯穿纵板，所述横板上开设有两个第二安装孔。

进一步的，所述焊接块的上表面与横板的底面紧密接触，所述焊接块靠近纵板的一侧表面开设有两个第一安装孔，两个所述第一安装孔分别与两个第一螺栓孔相对应。

进一步的，所述第一螺栓的两端分别安装于第一螺栓孔和第一安装孔内，且第一螺栓与第一螺栓孔、第一安装孔相配合。

进一步的，所述支撑块上表面开设有一个下半圆槽，所述下半圆槽位于该上表面的一侧边缘中部，所述支撑块上表面还开设有两个第二螺栓孔和两个第一螺钉孔，两个所述第一螺钉孔位于两个第二螺栓孔之间，所述第二螺栓孔为条形孔，所述第二螺栓孔贯穿支撑块的上、下表面，两个所述第二螺栓孔分别与两个第二安装孔相对应。

进一步的，所述第二螺栓的上、下部分别安装于第二螺栓孔、第二安装孔内，且所述第二螺栓与第二螺栓孔、第二安装孔相配合。

进一步的，所述顶盖上开设有一个上半圆槽、两个第二螺钉孔，所述上半圆槽位于顶盖底面的一侧边缘中部，所述第二螺钉孔贯穿顶盖的上、下表面。

进一步的，所述螺钉的上、下部分别安装于第二螺钉孔、第一螺钉孔内，且所述螺钉与第二螺钉孔、第一螺钉孔相配合。

进一步的，所述上半圆槽的半径与下半圆槽的半径相等，所述上半圆槽与下半圆槽上、下对应并围合形成圆形槽口。

本实用新型的有益效果：