[实用新型]一种单晶硅棒生产截断装置有效
申请号: | 201921590338.1 | 申请日: | 2019-09-24 |
公开(公告)号: | CN211363007U | 公开(公告)日: | 2020-08-28 |
发明(设计)人: | 蔡建名 | 申请(专利权)人: | 扬州方通电子材料科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 李枝玲 |
地址: | 225603 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 生产 截断 装置 | ||
本实用新型公开了一种单晶硅棒生产截断装置,工作台上两侧边均设有立杆,立板之间设有横板,立杆之间滑动连接设有升降板,升降板的下端设有方型缺口,升降板前侧面设有线锯切割机构,线锯切割机构内设有打磨机构,通孔内设有液压杆和液压泵,升降板后侧面设有固定块,液压杆与固定块连接,工作台上两侧边均设有T型凹槽,T型凹槽内滑动设有方型的框架,框架前后侧面均设有铰接件,铰接件上均铰接设有两个弧型夹持件,框架上面的滑槽之间设有两个连接杆,连接杆两端均设有连接块,连接块分别与弧型夹持件连接,连接杆侧面均设有板件,板件下面均设有竖板,框架两侧面均设有两个螺纹杆。本实用新型的优点:夹持牢固、切割和研磨同时进行。
技术领域
本实用新型涉及晶硅加工技术领域,具体是指一种单晶硅棒生产截断装置。
背景技术
单晶硅棒从单晶炉拉制出来后,需要进行后续的机械加工,晶棒单线截断机用于截断工序,它将拉制后的单晶硅棒进行切头尾、切样片及等长批量截断切割加工,这就要求切割过程对单晶硅棒完全固定牢固,这样切割过程,才会减少缺陷,避免出现“波浪面,面不平”和“崩边”的问题;切割后的单晶硅棒表面要去除上道工序的表面机械应力损伤层和杂质污染,在进行单面研磨并使硅片具有一定的平坦表面,而现有的切割产品无法同时满足切割和研磨。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是解决上述问题,提供一种夹持牢固、切割和研磨同时进行的单晶硅棒生产截断装置。
为解决上述技术问题,本实用新型提供的技术方案为:一种单晶硅棒生产截断装置,包括工作台,所述工作台上且靠近两侧边均设有立杆,所述立杆上面之间固定连接设有横板,所述立杆前侧面之间滑动连接设有升降板,所述升降板的下端设有方型缺口,所述升降板前侧面设有线锯切割机构,所述线锯切割机构内设有打磨机构,所述横板上设有通孔,所述通孔内固定连接设有液压杆和为液压杆提供动力的液压泵,所述升降板后侧面且与液压杆位置对应处固定连接设有固定块,所述液压杆延伸出通孔的一端与固定块固定连接,所述工作台上且靠近两侧边均设有T型凹槽,所述T型凹槽内均滑动连接设有T型滑块,所述T型滑块远离T型凹槽的侧面之间固定连接设有方型的框架,所述框架前后侧面下端中间处均固定连接设有铰接件,所述铰接件上均铰接设有两个弧型夹持件,两个弧型夹持件相对设置,所述框架上面且靠近前后侧处均设有滑槽,所述滑槽之间滑动连接设有两个连接杆,所述连接杆两端均固定连接设有连接块,所述连接块分别与同一侧面相邻近的弧型夹持件固定连接,所述连接杆相互远离的侧面均固定连接设有板件,所述板件下面且相互远离的一端均固定连接设有竖板,所述框架两侧面均固定连接设有两个螺纹杆,所述螺纹杆延伸出相邻竖板的一端均螺纹连接设有螺母,所述竖板与框架之间的螺纹杆上均套接设有弹簧。
本实用新型与现有技术相比的优点在于:通过框架前后两侧面的弧型夹持件夹持单晶硅棒,双向夹持,更加稳固,且通过拧动螺母,使螺母相互靠近或者远离调整弧型夹持件之间的距离达到适应不同尺寸直径的单晶硅棒,框架与工作台滑动连接,方便移动与线锯切割机构的距离,线锯切割机构是单晶硅棒最适宜的切割方式,内部设有打磨机构在切割的同时进行打磨,省时省力。
作为改进,所述线锯切割机构包括均转动连接在升降板前侧面四角处的切割轮,所述升降板后侧面且低于升降板上端的切割轮固定连接设有固定板,所述固定板上设有电机一,所述电机一输出端与切割轮延伸出升降板的一端固定连接,所述切割轮外侧面之间套接设有线锯,四个切割轮腾出空间,方便内部打磨带接下来的打磨。
作为改进,所述打磨机构包括均固定连接在升降板前侧面且靠近两侧处的两个支撑板,所述支撑板之间转动设有带轮,所述带轮外侧面之间套接设有相配合的打磨带,靠近升降板上端的支撑板上固定连接设有电机二,所述电机二输出端与带轮延伸出支撑板的一端固定连接,带轮带动打磨带转动,升降板下降带动线锯切割,随后的打磨带便可对切割好的单晶棒切面进行打磨。
作为改进,所述打磨带靠近横板的外侧面与线锯设为同一水平线。
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