[实用新型]一种用于多晶硅铸锭炉的加热组件

说明书

本实用新型公开了一种用于多晶硅铸锭炉的加热组件，涉及多晶硅铸锭炉技术领域；包括至少三个呈波浪形的加热片，所述加热片呈环形布置，相邻的两个加热片之间均设有连接机构，所述连接机构包括两个分别与该连接机构两侧的加热片固接的连接板、位于两个连接板之间的调节板，所述调节板分别与其两侧的连接板滑动连接。本实用新型拐角处温度突变性小。

技术领域

本实用新型属于多晶硅铸锭炉技术领域，特别涉及一种用于多晶硅铸锭炉的加热组件。

背景技术

多晶硅铸锭炉的加热组件用于给坩埚加热的加热组件；传统的加热组件，由波浪形的加热片组成，加热片之间往往采用一块经过简单弯折的平板连接，加热组件套设在一个坩埚上，对坩埚进行加热，加热片包括上水平段与下水平段，在上水平段与下水平段之间的区域能保证良好的温度均匀性。由于平板的长度相对于下水平段的长度较长，假设平板是与下水平段连接，平板相当于一个“加长版的下水平段”，会导致平板处的温度相比加热片的下水平段的温度高（因为平板的长度比下水平段的长度长），而平板上方与上水平段对应的温度会比较低（因为平板上方与水平段对应的区域没有热源），因此加热组件在拐角处具备温度突变性，这会导致长晶界面不能在一个平面上，影响产品质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术拐角处温度突变性大的缺点，提出一种用于多晶硅铸锭炉的加热组件，拐角处温度突变性小。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种用于多晶硅铸锭炉的加热组件，包括至少三个呈波浪形的加热片，所述加热片呈环形布置，相邻的两个加热片之间均设有连接机构，所述连接机构包括两个分别与该连接机构两侧的加热片固接的连接板、位于两个连接板之间的调节板，所述调节板分别与其两侧的连接板滑动连接。调节板相当于一个“上水平段”，连接板看看作是一个“竖向段”，通过调整调节板的高度，最终消除拐角处的温度突变性。

作为优选，加热片包括若干水平直线向排布的上水平段、若干水平直线向排布的下水平段，所述上水平段所在的水平面高于下水平段所在的水平面，所述上水平段所在的直线与下水平段所在的直线平行，所述上水平段与下水平段在水平直线方向间隔布置，所述上水平段与下水平段之间设有竖向段，所述上水平段与下水平段之间通过竖向段首尾相连，所述上水平段的宽度、下水平段的宽度、竖向段的宽度相等，所述上水平段与竖向段圆弧过渡，所述下水平段与竖向段圆弧过渡。上水平段、下水平段、竖向段的宽度相等，使得温度均匀性更好。

作为优选，加热片的上水平段及竖向段均位于加热片两端的下水平段之间，所述连接板与加热片端部的下水平段固接。下水平段作为连接机构的连接部件。

作为优选，连接板为L形结构，所述连接板包括水平连接板与竖向连接板，所述水平连接板与其对应的下水平段固接，所述竖向连接板自由端向上延伸，所述竖向连接板位于水平连接板远离加热片的一端，所述调节板滑动连接在竖向连接板上，所述竖向连接板的宽度与水平连接板的宽度相等，所述水平连接板的宽度等于下水平段的宽度。竖向连接板加热效果相当于竖向段，竖向连接板的宽度与水平连接板的宽度相等，水平连接板的宽度与下水平段的宽度，有利于保持温度的均匀性。

作为优选，调节板靠近竖向连接板的一侧设有滑槽，所述竖向连接板在滑槽对应位置设有与滑槽适配的凸起，所述凸起嵌入滑槽内并与滑槽滑动连接，所述相邻的加热片之间设有对相邻的加热片施加拉力从而将对应的调节板夹紧的夹紧机构。凸起嵌入滑槽内，凸起起到限位的作用。