[实用新型]超高真空极低温四探针测量装置

权利要求书

1.一种超高真空极低温四探针测量装置，用于检测电极生长，其特征在于，包括：

底座，所述底座设有螺纹腔和支撑部；

螺杆，所述螺杆部分内置于所述螺纹腔，所述螺杆的顶部为半球；

探针台，所述探针台位于所述底座的上端并且所述底座通过支撑部支撑所述探针台，所述螺杆通过半球与所述探针台接触并且所述螺杆通过旋转使半球顶着探针台旋转，所述探针台的上端安装有四个探针，所述探针用于接触电极并且检测电极的完好性；

支腿，所述支腿的下端与所述底座通过螺母固定连接，所述支腿的中端设有轴承，所述探针台的侧端连接部内嵌于轴承使所述探针台相对于支腿旋转；

上板架，所述支腿的上端与所述上板架通过螺母固定连接；

样品托装置，所述样品托装置的上端与所述上板架固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种超高真空极低温四探针测量装置，其特征在于，所述探针台与所述支腿的中间设有扭簧，所述扭簧安装于所述探针台的侧端连接部，所述扭簧用于消除螺纹间隙。

3.根据权利要求1所述的一种超高真空极低温四探针测量装置，其特征在于，所述样品托装置设有第一样品托和第二样品托，所述第一样品托与所述第二样品托固定连接，所述第一样品托位于所述第二样品托的下方，所述第一样品托位于所述探针的上方。

4.根据权利要求3所述的一种超高真空极低温四探针测量装置，其特征在于，所述第二样品托为带磁力的样品托，所述第二样品托用于增加磁场环境。

5.根据权利要求1所述的一种超高真空极低温四探针测量装置，其特征在于，所述上板架设有铜辫子，所述铜辫子用于传递温度。

6.根据权利要求1所述的一种超高真空极低温四探针测量装置，其特征在于，所述支撑部用于限制所述探针台的旋转角度。

7.根据权利要求1所述的一种超高真空极低温四探针测量装置，其特征在于，超高真空极低温四探针测量装置部分采用无氧铜材质。