[实用新型]一种密封靶材热处理装置有效
| 申请号: | 201921486896.3 | 申请日: | 2019-09-09 |
| 公开(公告)号: | CN210886200U | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
| 发明(设计)人: | 黄振;颜文明 | 申请(专利权)人: | 苏州东宸先瑞新材料科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C21D9/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 215129 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 密封 热处理 装置 | ||
本实用新型公开了一种密封靶材热处理装置,该热处理装置包括加热柜、可转动盖设于该加热柜上的密封柜门、固设于加热柜内中部将该加热柜分割为左腔室和右腔室的竖直中空隔板、以及可滑动插入至左腔室内的复数块第一加热板、可滑动插入至右腔室内的复数块第二加热板,该复数块第一加热板中每块第一加热板均为中空加热板,该第一加热板内固设有第一电加热管,该第一加热板侧边设有与第一电加热管电连接的第一电插头,该复数块第二加热板中每块第二加热板均为中空加热板,该第二加热板内固设有第二电加热管,该第二加热板侧边设有与该第二电加热管电连接的第二电插头,该加热柜第一内侧壁上设有供该第一加热板第一侧滑动插入的复数个第一滑槽。
技术领域
本实用新型涉及一种密封靶材热处理装置。
背景技术
现有的热处理装置大多内部空间固定,不能根据靶材的大小及形状调整加热空间,造成使用受限。
实用新型内容
本实用新型针对现有技术的上述缺陷,提供一种密封靶材热处理装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:构造一种密封靶材热处理装置,该热处理装置包括加热柜、可转动盖设于该加热柜上的密封柜门、固设于该加热柜内中部将该加热柜分割为左腔室和右腔室的竖直中空隔板、以及可滑动插入至该左腔室内的复数块第一加热板、可滑动插入至该右腔室内的复数块第二加热板,该复数块第一加热板中每块第一加热板均为中空加热板,该第一加热板内固设有第一电加热管,该第一加热板侧边设有与该第一电加热管电连接的第一电插头,该复数块第二加热板中每块第二加热板均为中空加热板,该第二加热板内固设有第二电加热管,该第二加热板侧边设有与该第二电加热管电连接的第二电插头,该加热柜第一内侧壁上设有供该第一加热板第一侧滑动插入的复数个第一滑槽,该中空隔板第一侧壁上设有供该第一加热板第二侧滑动插入、并与该第一滑槽位置相对的复数个第二滑槽,该中空隔板第二侧壁上设有供该第二加热板第一侧滑动插入的复数个第三滑槽,该加热柜第二内侧壁上设有供该第二加热板第二侧滑动插入、并与该第三滑槽位置相对的复数个第四滑槽,该复数个第二滑槽中每个第二滑槽内侧壁上均设有可供该第一电插头插入电连接的第一插座,该复数个第三滑槽中每个第三滑槽内侧壁上均设有可供该第二电插头插入电连接的第二插座,该中空隔板内设有与该第一插座和第二插座电连接的电源线,该加热柜底壁上设有供该电源线穿出的线孔。
在本实用新型所述的密封靶材热处理装置中,该线孔底端设有可塞入至该线孔内的橡胶塞,该橡胶塞内设有可提供该电源线穿过的穿出孔。
在本实用新型所述的密封靶材热处理装置中,该柜门第二侧与该加热柜第一侧通过活页可转动连接。
在本实用新型所述的密封靶材热处理装置中,该加热柜第二侧壁外端面嵌设有第一磁钢条,该柜门第二侧内与该第一磁钢条相对应位置处设有可与该第一磁钢条磁性相吸的第二磁钢条。
在本实用新型所述的密封靶材热处理装置中,该柜门周缘粘设有用于密封柜门与加热柜之间缝隙的硅橡胶条。
在本实用新型所述的密封靶材热处理装置中,该柜门中部嵌设有透明探视窗板。
实施本实用新型的密封靶材热处理装置,具有以下有益效果:使用本实用新型的密封靶材热处理装置时,可根据需要在第一滑槽和第二滑槽内插入第一加热板,在第三滑槽和第四滑槽内插入第二加热板,并根据需要调整上下两个第一加热板之间的高度差,以及上下两个第二加热板之间的高度差,以便放置大小不同的靶材材料,在将第一加热板插入至第一滑槽和第二滑槽内的过程中,将第一电插头插入至第一插座内,在将第二加热板插入至第三滑槽和第四滑槽内的过程中,将第二电插头插入至第二插座内,对第一电加热管和第二电加热管进行通电,最后关闭柜门,对电源线通电,即可实现对放置于第一加热板和第二加热板上的靶材进行密封热处理。
附图说明
下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明,附图中:
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