[实用新型]一种新型压印注塑模具

说明书

本实用新型提供一种新型压印注塑模具，包括：玻璃衬底层和聚合物结构层。其中，玻璃衬底层包含多个定位标记，聚合物结构层包含多个模具预成型结构单元和隔离模具预成型结构单元的结构，使得在该新型压印注塑模具上同时具有多个相同参数或不同参数的模具预成型结构单元，且模具预成型结构单元之间在同一平面内彼此分离，互不相连。本实用新型克服了传统压印工艺中，整面涂胶造成晶圆产品翘曲或局部涂胶无法控制模具预成型结构单元产品边缘形状的缺点。模具预成型结构单元在同一平面内彼此分离，且边缘形状可以是但不限于长方形、圆形等，使得在压印胶水成型时，胶水成型固化后其边缘形状与模具预成型结构单元的边缘保持一致。

技术领域

本实用新型涉及压印注塑领域，具体涉及一种新型压印注塑模具。

背景技术

现有压印注塑技术采用的压印模具，如在先技术《面向大尺寸非平整衬底图形化的复合纳米压印研究》和在先技术《一种大面积纳米压印软模具复制装置及方法》（CN105034344A）中所述，模具预成型结构（无论是台阶型光栅结构或者是曲面型透镜结构）单元都布置在同一平面，在这个平面内，预成型结构单元之间充满模具成型材料，彼此相连。在压印注塑过程中，当采用整体涂胶时，所成型的压印晶圆产品由于胶水收缩会产生晶圆翘曲；当采用在模具预成型结构单元局部涂胶时，在压印过程中，由于预成型结构单元没有物理边界，胶水要么无法充满整个模具预成型结构单元，要么与相邻单元的胶水相连接，要么无法形成特殊的单元边缘形状，如菱形单元边缘形状等。

现有的压印注塑技术中压印模具的定位标记是和模具预成型结构同时制造的，是具有三维结构的定位标记，与模具预成型结构单元位于同一表面，并且也是由同种聚合物材料形成的，该材料为透紫外光的聚合物，为透明材质。该透明材质的三维定位标记在视觉系统里，通过对照明光线的折射原理成像，成像质量差，对比度低，且该定位标记在视觉系统中的成像位置受照明光角度的影响，造成定位精度低。

因此，如何提高定位标记的定位精度，如何控制模具预成型结构单元物理边缘及形状，成为本领域技术人员亟需解决的技术问题。

发明内容

为了解决在先技术中存在的上述问题，本实用新型提供一种新型压印注塑模具，包括：玻璃衬底层和聚合物结构层。其中，玻璃衬底层包含多个定位标记，聚合物结构层包含多个模具预成型结构单元和隔离模具预成型结构单元的结构，该新型压印注塑模具上同时具有多个相同参数或不同参数的模具预成型结构单元，且模具预成型结构单元之间在同一平面内彼此分离。定位标记与聚合物结构层分别位于玻璃衬底层的两侧。

玻璃衬底的厚度小于1mm。

玻璃衬底具有M个定位标记，M为≥1的整数。

定位标记为具有一定图案的薄膜结构，其材料可以是但不限于金属、氧化物、有机物和无机物等。

聚合物结构层中包含N个模具预成型结构单元，N为≥1的整数。

定位标记的颜色与玻璃衬底层的颜色不同，可以被人眼或视觉系统区分。

定位标记的厚度小于1mm。

模具预成型结构单元的边缘形状可以是但不限于长方形、圆形等。

附图说明

图1为本实用新型实施例一所描述的新型压印注塑模具的结构示意图。

图2为本实用新型实施例一所描述的定位标记的结构示意图。

图3为本实用新型实施例一所描述的模具预成型结构单元边缘形状的结构示意图。

图4位本实用新型实施例二所描述的新型压印注塑模具的结构示意图。

具体实施方式