[实用新型]适用于多种复投桶的喉口法兰

说明书

本实用新型涉及适用于多种复投桶的喉口法兰，包括固定盘和外伸装置，固定盘内侧设有伸缩槽，外伸装置可移动设置在伸缩槽中，外伸装置缩回后外边缘不超过固定盘边缘，外伸装置不少于3个，伸缩槽数量与外伸装置相同，固定盘内侧设有L型气嘴，气嘴开口方向向下。本实用新型的有益效果是：外伸装置能够缩回固定盘，不会影响大尺寸单晶拉制过程，复投料时，外伸装置伸出与复投桶法兰卡接，辅助复投过程，并在复投桶法兰和本方案喉口法兰的相互作用下实现密封；另外外伸装置能够实现不同长度可调的外伸，适用于不同尺寸的复投桶，提高了其适用范围，并可直接通过自动化对外伸装置进行调整；另外L型气嘴开口向下避免吹响中部的钢缆，避免钢缆晃动。

技术领域

本实用新型属于单晶硅制造技术领域，尤其是涉及一种适用于多种复投桶的喉口法兰。

背景技术

在拉制直径介于240mm-310mm的直拉单晶硅的过程中，由于单晶硅棒直径的扩大，必须对现有常规设备进行改造，首先必须保证喉口法兰的直径满足大尺寸单晶的直径，并且还要保留一定的安全距离。就JS105炉型举例来说，原有尺寸喉口法兰的内径远远不满足拉制大尺寸单晶的要求，所以需要对原有喉口法兰的内径进行外扩，使其能够用于大尺寸单晶硅棒的拉制过程，但是外扩之后又不能满足现有车间使用的复投桶法兰的要求，需要另外在隔离仓上加装匹配复投桶法兰的法兰结构，这样既增加了人员负重，又会产生密封不严容易造成炉内氧化的风险。

发明内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种适用于多种复投桶的喉口法兰。

本实用新型采用的技术方案是：适用于多种复投桶的喉口法兰，包括固定盘和外伸装置，固定盘内侧设有伸缩槽，外伸装置可移动设置在伸缩槽中。

优选地，伸缩槽贯穿固定盘侧面，外伸装置形状与伸缩槽匹配，外伸装置外侧连接有气缸。

优选地，外伸装置底部设有滑轨。

优选地，伸缩槽为槽状，外伸装置可转动设置在伸缩槽中，外伸装置一端铰接在伸缩槽一侧，外伸装置与伸缩槽内壁间连接设有气囊，气囊连接有充放气嘴，充放气嘴贯穿并伸出固定盘外壁，充放气嘴连接有气泵。

优选地，外伸装置缩回后外边缘不超过固定盘边缘。

优选地，外伸装置不少于3个，伸缩槽数量与外伸装置相同。

优选地，固定盘内侧设有L型气嘴，气嘴开口方向向下。

优选地，固定盘设有贯通的气孔，气孔与L型气嘴连通。

本实用新型具有的优点和积极效果是：外伸装置能够缩回固定盘，不会影响大尺寸单晶拉制过程，复投料时，外伸装置伸出与复投桶法兰卡接，辅助复投过程，并在复投桶法兰和本方案喉口法兰的相互作用下实现密封；另外外伸装置能够实现不同长度可调的外伸，适用于不同尺寸的复投桶，提高了其适用范围，并可直接通过自动化对外伸装置进行调整，节省人力，提高效率；另外L型气嘴开口向下避免吹响中部的钢缆，避免钢缆晃动。

附图说明

图1是本实用新型一个实施例结构示意图；

图2是本实用新型一个实施例结构示意图；

图3是本实用新型一个实施例L型气嘴结构示意图。

图中：

1、固定盘 2、伸缩槽 31、外伸装置

32、气缸 33、气囊 34、充放气嘴

4、L型气嘴

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的一个实施例做出说明。