[实用新型]多晶硅还原炉用尾气硅渣过滤设备

权利要求书

1.多晶硅还原炉用尾气硅渣过滤设备，其特征在于：包括尾气管道(1)、第一过滤装置(2)、第二过滤装置(3)、阀门(4)及连接固定用螺栓(101)及螺孔(102)；

所述第一过滤装置(2)包括筒体(204)和外筒壁(210)，筒体(204)和外筒壁(210)与其两者之间的空腔共同形成双层冷却管道(201)，筒体(204)的上端设有钢网过滤桶(206)，筒体(204)的下端设有锥形筒口(205)且锥形筒口(205)的末端延伸至第二过滤装置(3)内；

所述双层冷却管道(201)与外筒壁(210)一侧下端的冷却水进水口(202)，和外筒壁(210)另一侧上端的冷却水出水口(203)共同形成冷却水循环系统；

所述钢网过滤桶(206)桶侧及桶底上设置有蜂窝状滤孔(208)，滤孔直径为1mm-2mm；

所述筒体(204)法兰上设有凹槽(207)，通过凹槽(207)将钢网过滤桶(206)嵌入筒体(204)固定；

所述锥形筒口(205)与筒体(204)成10°-45°角，包括锥形筒口末端(211)和尺寸略小于锥形筒口末端(211)的束口卡槽(209)，束口卡槽(209)处连接袋式过滤器(302)；

所述第二过滤装置(3)，包括排气管道(303)、从第一过滤装置(2)中延伸过来的锥形筒口(205)，以及通过束口带(301)固定在锥形筒口(205)束口卡槽(209)上的袋式过滤器(302)。

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉用尾气硅渣过滤设备，其特征在于：所述袋式过滤器(302)的滤网目数为100目-300目。