[实用新型]一种氮氧传感器陶瓷芯体

权利要求书

1.一种氮氧传感器陶瓷芯体，其特征在于，包括第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片由下到上依次叠压；

所述第一基片的上表面设有加热电极，所述加热电极包裹在加热电极绝缘层中；

所述第二基片的上表面设有参考电极，且所述第二基片上设置泄压孔，所述参考电极表面覆盖有多孔扩散层；

所述第三基片设有参考气体通道，所述第三基片的上表面依序设置一级泵电极的下泵电极、二级泵电极的下泵电极和测量电极，所述测量电极在所述参考电极的正上方；

所述第四基片上依序设置第一空腔、第二空腔、第三空腔、第四空腔和第五空腔，所述第一空腔和所述第二空腔之间设置有第一气体扩散障层，所述第二空腔和所述第三空腔之间设置有第二气体扩散障层，所述第三空腔和所述第四空腔之间设置第三气体扩散障层，所述第四空腔和所述第五空腔之间设置第四气体扩散障层；

所述第五基片的下表面依序设置所述一级泵电极的上泵电极和所述二级泵电极的上泵电极，上表面设置公共电极，所述公共电极表面覆盖有多孔保护层；

所述第三空腔的所述一级泵电极的下泵电极和上泵电极通过所述第四基片的半通孔相连形成所述一级泵电极；所述第四空腔的所述二级泵电极的下泵电极和上泵电极通过所述第四基片的半通孔相连形成所述二级泵电极。

2.如权利要求1所述的氮氧传感器陶瓷芯体，其特征在于，所述第一基片的厚度为480-520um，所述第二基片、所述第三基片、所述第四基片和所述第五基片的厚度为240-260μm。

3.如权利要求1所述的氮氧传感器陶瓷芯体，其特征在于，所述第一气体扩散障层、所述第二气体扩散障层、所述第三气体扩散障层和所述第四气体扩散障层为多孔结构或狭缝，所述多孔结构或狭缝的厚度为10-20um。

4.如权利要求1所述的氮氧传感器陶瓷芯体，其特征在于，所述测量电极中含有铂和铑。

5.如权利要求1所述的氮氧传感器陶瓷芯体，其特征在于，所述加热电极包括加热部分和引线部分，所述加热部分为矩形轴对称排列，所述引线部分的电阻阻值之和是所述加热部分的电阻阻值的0.3-0.7倍。

6.如权利要求1所述的氮氧传感器陶瓷芯体，其特征在于，所述多孔保护层和所述多孔扩散层的材质为多孔氧化锆或多孔氧化铝；所述绝缘层为致密氧化铝。

7.如权利要求1所述的氮氧传感器陶瓷芯体，其特征在于，所述第一空腔、所述第二空腔、所述第三空腔、所述第四空腔和所述第五空腔、所述泄压孔、所述参考气体通道形成的角均为倒圆角。