[实用新型]ITO蚀刻用草酸溶液的配制装置有效

专利信息
申请号: 201921371750.4 申请日: 2019-08-22
公开(公告)号: CN210787334U 公开(公告)日: 2020-06-19
发明(设计)人: 梁小朝;连杰;姚浩川;黄德新 申请(专利权)人: 合肥中聚合臣电子材料有限公司
主分类号: B01J19/18 分类号: B01J19/18;B01J4/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 231600 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: ito 蚀刻 草酸 溶液 配制 装置
【权利要求书】:

1.ITO蚀刻用草酸溶液的配制装置,包括支撑杆(7)和工作台(5),其特征在于:所述支撑杆(7)安装在工作台(5)的上端外壁上,所述工作台(5)的下端四角处外壁上设置有柱腿(6),所述支撑杆(7)的正上方设置有转盘(2),所述转盘(2)和支撑杆(7)通过转轴(1)固定连接,所述转盘(2)的上端外壁上设置有固定座(17),所述固定座(17)的圆周内部设置有刻度溶液桶(15),所述刻度溶液桶(15)的上端外壁上设置有盖子(16),所述刻度溶液桶(15)的下端设置有竖向输液管(4),所述输液管(4)的最下端穿过转盘(2)并设置在工作台(5)的正上方,所述输液管(4)的圆周外壁上设置有控制阀(3),所述支撑杆(7)的右侧工作台(5)上设置有加热器(8),所述加热器(8)的前端外壁上设置有控制器(9),所述加热器(8)的圆周内部设置有反应桶(11),所述反应桶(11)的上端外壁上设置有桶盖(12),所述桶盖(12)和反应桶(11)通过桶口(10)固定连接,所述桶盖(12)的上端外壁上设置有搅拌杆(13),所述搅拌杆(13)的左侧桶盖(12)上设置有温度计(14),所述搅拌杆(13)的最下端穿过桶盖(12)并设置在反应桶(11)的圆周内部,所述温度计(14)的最下端穿过桶盖(12)并设置在反应桶(11)的圆周内部,所述温度计(14)和桶盖(12)通过固定块(18)固定连接,所述加热器(8)的圆周内部设置有电热导管(19),所述电热导管(19)通过控制器(9)与内部电源电性连接。

2.根据权利要求1所述的ITO蚀刻用草酸溶液的配制装置,其特征在于:所述柱腿(6)共设置有四个,四个所述柱腿(6)的形状大小均相同,四个所述柱腿(6)和工作台(5)相互之间保持相对垂直状态。

3.根据权利要求1所述的ITO蚀刻用草酸溶液的配制装置,其特征在于:所述转盘(2)和工作台(5)相互之间保持相对平行状态。

4.根据权利要求1所述的ITO蚀刻用草酸溶液的配制装置,其特征在于:所述支撑杆(7)和工作台(5)相互之间保持相对垂直状态,所述支撑杆(7)和工作台(5)之间通过焊接固定连接。

5.根据权利要求1所述的ITO蚀刻用草酸溶液的配制装置,其特征在于:所述温度计(14)和桶盖(12)相互之间保持相对垂直状态。

6.根据权利要求1所述的ITO蚀刻用草酸溶液的配制装置,其特征在于:所述刻度溶液桶(15)共设置有三个,三个所述刻度溶液桶(15)的形状大小均相同。

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