[实用新型]一种用于光刻胶生产的尾气处理装置有效

专利信息
申请号: 201921368773.X 申请日: 2019-08-22
公开(公告)号: CN210495747U 公开(公告)日: 2020-05-12
发明(设计)人: 周国波;陈武档;赖艺珠;梁荣增;宋里千 申请(专利权)人: 福建泓光半导体材料有限公司
主分类号: B01D50/00 分类号: B01D50/00;B01D53/74
代理公司: 北京立成智业专利代理事务所(普通合伙) 11310 代理人: 张江涵
地址: 363000 福建省漳*** 国省代码: 福建;35
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 用于 光刻 生产 尾气 处理 装置
【说明书】:

实用新型提供一种用于光刻胶生产的尾气处理装置,包括风机、冷却箱、水箱、第二水箱、除尘室、导管、过滤室、杀菌室及熏香室,所述风机安装在风管上,风管外侧环绕有冷却管,冷却管内部穿过冷却箱内部,冷却管两端均安装在水箱内,风管一端与除尘室内部连通,除尘室内部安装有喷淋装置,喷淋装置下端设有喷头,喷淋装置上端设有水管连接块,水管连接块与水管连接,水管另一端与第二水箱连接,除尘室另一端连接导管,导管另一端连接过滤室,过滤室另一端与杀菌室内部连接,杀菌室另一端连接熏香室,熏香室外侧设有出风口,多个过滤方式,从多个层面对废气进行过滤处理,确保过滤后的废气不含污染物且没有臭味,环保健康。

技术领域

本实用新型涉及光刻胶技术领域,具体为一种用于光刻胶生产的尾气处理装置。

背景技术

废气处理主要是指针对工业场所产生的工业废气诸如粉尘颗粒物、烟气烟尘、异味气体、有毒有害气体进行治理的工作。常见的废气净化有工厂烟尘废气净化、车间粉尘废气净化、有机废气净化、废气异味净化、酸碱废气净化、化工废气净化等,废气处理设备,主要是指运用不同工艺技术,通过回收或去除、减少排放尾气的有害成分,达到保护环境、净化空气的一种环保设备,让我们的环境不受到污染。在光刻胶的生产过程中难免也伴随着废气排放,因此对光刻胶生产尾气处理也尤为重要。

现有的尾气处理设备大多利用活性炭过滤棉对废气进行简单的过滤处理,但是一旦遇到温度高的尾气,不仅会损坏活性炭过滤棉,而且也会造成过滤器内部损伤,而且仅仅使用活性炭进行过滤,过滤效果并不是很好。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种用于光刻胶生产的尾气处理装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现:

一种用于光刻胶生产的尾气处理装置,包括风机、冷却箱、水箱、第二水箱、除尘室、导管、过滤室、杀菌室及熏香室,所述风机安装在风管上,风管外侧环绕有冷却管,冷却管内部穿过冷却箱内部,冷却管两端均安装在水箱内,风管一端与除尘室内部连通,除尘室内部安装有喷淋装置,喷淋装置下端设有喷头,喷淋装置上端设有水管连接块,水管连接块与水管连接,水管另一端与第二水箱连接,除尘室另一端连接导管,导管另一端连接过滤室,过滤室另一端与杀菌室内部连接,杀菌室另一端连接熏香室,熏香室外侧设有出风口。

进一步地,所述冷却箱内部设有压缩机、冷凝器、蒸发器、毛细管与冷却室,所述压缩机、冷凝器、毛细管与蒸发器依次连接,蒸发器设在冷却室内部,冷却管穿过冷却室内部并与蒸发器贴合。

进一步地,所述水箱与第二水箱内部设有微型水泵。

进一步地,所述过滤室内部设有第一过滤片、第二过滤片、第三过滤片及第四过滤片,第一过滤片为钢丝过滤网,第二过滤片为若干刀片组成的过滤网,第三过滤片为棉布网,第四过滤片为活性炭过滤网。

进一步地,杀菌室内部安装有若干紫外线杀菌灯。

进一步地,所述熏香室顶部与熏香器连接,熏香器内部安装有香囊,香囊安装在熏香块内,熏香块与熏香室内部可拆卸连接,熏香室前端设有出风口。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

1、多个过滤方式,从多个层面对废气进行过滤处理,确保过滤后的废气不含污染物且没有臭味,环保健康。

2、冷却管与冷却箱的配合对风管内部的废气进行降温处理,防止风管内部废气温度过高伤害风管。

3、四个过滤片对废气进行层层过滤,防止废气中含有有害物质,阻挡内部大颗粒固体,确保排出的废气无毒无害。

4、熏香室对排出的废气进行简单的熏香处理,减少废气的臭味。

附图说明

图1为本实用新型的结构图。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建泓光半导体材料有限公司,未经福建泓光半导体材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921368773.X/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top