[实用新型]一种便于拆装靶隔板的立式镀膜机有效

专利信息
申请号: 201921319833.9 申请日: 2019-08-14
公开(公告)号: CN211497768U 公开(公告)日: 2020-09-15
发明(设计)人: 华冬辉 申请(专利权)人: 湖南菲尔姆真空设备有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 赵琴娜
地址: 410600 湖南省*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 便于 拆装 隔板 立式 镀膜
【权利要求书】:

1.一种便于拆装靶隔板的立式镀膜机,其特征在于,设置有真空镀膜室,所述真空镀膜室内挂载有隔板,所述隔板的上端设置有扣件或挂钩,所述真空镀膜室的顶部设置有顶板,所述顶板上设置有挂钩或扣件,所述隔板通过所述扣件与所述挂钩配合而挂载于所述顶板上。

2.如权利要求1所述的一种便于拆装靶隔板的立式镀膜机,其特征在于,所述挂钩设置于所述顶板上并设置为底部开口的筒体结构,所述挂钩的侧壁上开设有让位口,并且所述挂钩上的与所述让位口相邻的两侧壁上开设有向下倾斜延伸的开口槽,所述扣件设置于所述隔板的上端并具体设置为位于所述隔板上端的两侧的两个横栓,所述横栓与所述开口槽适配并可从所述让位口处扣入所述开口槽内。

3.如权利要求1所述的一种便于拆装靶隔板的立式镀膜机,其特征在于,所述真空镀膜室内转动设置有转台架,所述转台架用于安装工件,所述隔板挂载于所述转台架的上端。

4.如权利要求3所述的一种便于拆装靶隔板的立式镀膜机,其特征在于,所述隔板的上端设置有扣件或挂钩,所述转台架的上端设置有挂钩或扣件,所述隔板通过所述扣件与所述挂钩配合而挂载于所述转台架的上端。

5.如权利要求4所述的一种便于拆装靶隔板的立式镀膜机,其特征在于,所述挂钩设置于所述转台架的上端并设置为底部开口的筒体结构,所述挂钩的侧壁上开设有让位口,并且所述挂钩上的与所述让位口相邻的两侧壁上开设有向下倾斜延伸的开口槽,所述扣件设置于所述隔板的上端并具体设置为位于所述隔板上端的两侧的两个横栓,所述横栓与所述开口槽适配并可从所述让位口处扣入所述开口槽内。

6.如权利要求2或5所述的一种便于拆装靶隔板的立式镀膜机,其特征在于,所述挂钩上与所述让位口相对的侧壁上开设有第一定位孔,所述隔板上对应设置有第二定位孔,所述第二定位孔为螺纹孔,所述挂钩与所述隔板之间通过于所述第一定位孔和所述第二定位孔内安装锁紧螺栓实现固定。

7.如权利要求2或5所述的一种便于拆装靶隔板的立式镀膜机,其特征在于,所述挂钩通过第一螺栓安装固定,且所述挂钩的上端面设置有凸起的定位柱。

8.如权利要求7所述的一种便于拆装靶隔板的立式镀膜机,其特征在于,所述第一螺栓设置有多个并绕所述定位柱均匀分布。

9.如权利要求1-5任一项所述的一种便于拆装靶隔板的立式镀膜机,其特征在于,所述隔板包括安装柱和多块隔板本体,多块所述隔板本体安装于所述安装柱的圆柱面上。

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