[实用新型]一种光罩放置盒

说明书

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种光罩放置盒，包括底盒与顶盒，底盒的顶面开设有底腔，底腔的腔底处设有若干用于搭接光罩的搭柱，搭柱的顶面上设有搭槽，搭槽的侧壁上设有侧块，搭槽的底面设有底垫，顶盒的顶面开设有顶腔，顶腔的腔底处设有若干压柱，压柱的顶面上设置有压块，底盒与顶盒的一端之间互相铰接，底盒与顶盒的另一端之间通过锁止装置相连接。该光罩放置盒，通过分设置搭柱与压柱并在搭柱上设置有侧块和底垫、在压柱上设置有压块，使顶盒与底盒合拢时，底垫、侧块以及压块对光罩进行保护，使底盒与顶盒在发生碰撞后产生的作用力能够被有效地减缓，防止撞击产生的作用力对光罩产生影响。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种光罩放置盒。

背景技术

光罩又称光掩模，是刻有微电路的高精度板，由表面纯平并带有一层铬的石英板或玻璃板制作而成，蚀刻后的残留铬部分即为设计的微电路图，主要被用于半导体生产时的光蚀刻工作由于光罩内电路的精度较高，使得光罩在不使用时需要被妥善放置。当现有的光罩在放置时发生碰撞后，碰撞产生的作用力容易对光罩造成损伤，鉴于此，我们提出一种光罩放置盒。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光罩放置盒，以解决上述背景技术中提出的有的光罩在放置时发生碰撞后，碰撞产生的作用力容易对光罩造成损伤的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种光罩放置盒，包括底盒与顶盒，所述底盒的顶面开设有底腔，所述底腔的腔底处设有若干用于搭接光罩的搭柱，所述搭柱顶面的拐角处开设有搭槽，所述搭槽的侧壁上设置有侧块，所述搭槽的底面设置有底垫，所述顶盒的顶面开设有顶腔，所述顶腔的腔底处设有若干压柱，所述压柱的顶面上设置有压块，所述底盒与所述顶盒的一端之间互相铰接，所述底盒与所述顶盒的另一端之间通过锁止装置相连接。

优选的，所述搭柱的数量为四个并与所述光罩的四个拐角处一一对应，所述光罩的四个拐角处分别搭接在四个所述搭柱上的所述搭槽中。

优选的，当所述光罩搭接在所述搭柱上时，所述光罩的侧端与所述侧块相贴合，所述光罩拐角处的底端搭接在所述底垫上。

优选的，所述压柱的数量与所述搭柱的数量相等且位置一一对应，当所述光罩搭接在所述搭柱上并将所述顶盒合拢在所述底盒的顶面时，所述压块的顶面抵在所述光罩拐角处的顶面上。

优选的，所述锁止装置包括旋柱、安装在所述旋柱上的锁条以及紧密熔接在所述顶盒端面上的挂柱。

优选的，所述旋柱通过铆柱安装在所述底盒上，所述底盒的侧端开设有用于安装所述铆柱的轴孔，所述铆柱的末端通过所述轴孔伸向所述底盒的外侧并与所述旋柱紧密熔接。

优选的，所述锁条呈弧形条状结构，所述锁条的末端与所述旋柱的侧端紧密熔接，当所述底盒与所述顶盒合拢时，通过旋动所述旋柱能够使所述旋柱带动所述锁条挂接在所述挂柱上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.该光罩放置盒，通过分别设置在底盒与顶盒内的搭柱与压柱并在搭柱上设置有硅橡胶制成的侧块和底垫、在压柱上设置有硅橡胶制成的压块，使光罩在搭接到搭柱上后将顶盒合拢在底盒上时，软质的压块与底垫将光罩的拐角处挤压固定、软质的侧块贴合在光罩拐角处的侧端面上，使光罩被限制在搭柱与压柱之间，同时在软质的侧块、底垫以及压块的作用下可对底盒与顶盒碰撞时产生的作用力进行缓冲，解决了有的光罩在放置时发生碰撞后，碰撞产生的作用力容易对光罩造成损伤的问题；

2.该光罩放置盒，通过设置的锁止装置，使得锁止装置能够将合拢后的底盒与顶盒进行锁止固定，防止出现由于顶盒的误开而导致光罩从底盒中脱落的现象。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；