[实用新型]一种清洗光罩的装置

权利要求书

1.一种清洗光罩的装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)表面开设有第一凹槽(1a)，所述第一凹槽(1a)的底部设有电机(6)，所述底座(1)的顶部设有清洗室(2)，所述清洗室(2)底部靠近内壁的位置竖直开设有出水口(20)，所述出水口(20)的底部设有出水接口(4)，所述清洗室(2)的底部中心处竖直开设有第一通孔(21)，所述清洗室(2)的底部且位于靠近所述第一通孔(21)的位置由内向外设有若干个第一环形刷(9)，所述清洗室(2)的顶部设有顶盖(3)，所述顶盖(3)的底部开设有第二凹槽(30)，所述第二凹槽(30)底部靠近内壁的位置竖直开设有进水口(300)，所述进水口(300)的顶部设有进水接口(5)，所述第二凹槽(30)的底部中心处设有环形圆柱槽(31)，所述第二凹槽(30)的底部且位于靠近所述环形圆柱槽(31)的位置由内向外依次设有若干个第二环形刷(10)，所述第一环形刷(9)和所述第二环形刷(10)之间设有对称分布的第一固定盘(7)和第二固定盘(8)。

2.根据权利要求1所述的清洗光罩的装置，其特征在于：所述第一固定盘(7)的表面中心处设有第二通孔(70)，所述第一固定盘(7)的表面开设有若干个以环形阵列排布的第三通孔(71)，每个所述第三通孔(71)的内壁均设有环形限位块(710)，所述第二固定盘(8)与所述第一固定盘(7)为相同规格的结构。

3.根据权利要求1所述的清洗光罩的装置，其特征在于：所述清洗室(2)的底部中心处设有机械密封块(11)，所述电机(6)的输出轴依次穿过所述机械密封块(11)、所述清洗室(2)、所述第一固定盘(7)和所述第二固定盘(8)且与所述环形圆柱槽(31)转动连接。

4.根据权利要求1所述的清洗光罩的装置，其特征在于：所述第一固定盘(7)与所述电机(6)的输出轴固定连接。

5.根据权利要求1所述的清洗光罩的装置，其特征在于：所述第一环形刷(9)的位置和所述第二环形刷(10)的位置相对应且数量相同，所述第一环形刷(9)和所述第二环形刷(10)为相同规格的结构。

6.根据权利要求1所述的清洗光罩的装置，其特征在于：所述第二凹槽(30)的内壁高度为所述清洗室(2)的圆周外侧高度的一半。