[实用新型]一种用于石英晶片生产的浸蚀装置

权利要求书

1.一种用于石英晶片生产的浸蚀装置，其特征在于，包括浸蚀槽和晶片盛放架，所述浸蚀槽内盛装有浸蚀液，所述浸蚀槽的底部设有电机，所述浸蚀槽内设有搅拌轴，所述搅拌轴与所述电机相连，所述搅拌轴上设有螺旋搅拌叶；所述晶片盛放架包括若干圆形阵列分布的内杆和外杆，所述内杆圆形阵列的圆心与所述外杆圆形阵列的圆心相重合，所述外杆的顶部设有挂钩，所述挂钩挂在所述浸蚀槽的侧壁上，所述内杆和所述外杆之间固定连接有若干层环形的固定板，所述固定板顶部设有若干均匀分布的卡槽，所述固定板的底部设有与所述卡槽相通的通槽，所述通槽的截面积小于所述卡槽的截面积，所述卡槽内放置晶片。

2.根据权利要求1所述的一种用于石英晶片生产的浸蚀装置，其特征在于，所述浸蚀槽的外壁设有夹套，所述夹套内通入加热介质，所述夹套的下端设有夹套进口，所述夹套的上端设有夹套出口。

3.根据权利要求1所述的一种用于石英晶片生产的浸蚀装置，其特征在于，所述浸蚀槽底部设有固定槽，所述内杆插入所述固定槽。

4.根据权利要求1所述的一种用于石英晶片生产的浸蚀装置，其特征在于，所述浸蚀槽顶部的侧壁上设有凹槽，将所述挂钩卡在所述凹槽内时，所述挂钩顶部的高度与所述浸蚀槽侧壁的高度一致。

5.根据权利要求1所述的一种用于石英晶片生产的浸蚀装置，其特征在于，所述浸蚀槽顶部设有保护盖，所述保护盖包括盖体，所述盖体的顶部设有把手。

6.根据权利要求5所述的一种用于石英晶片生产的浸蚀装置，其特征在于，所述盖体的底部设有环形的卡接板，所述卡接板的外侧设有若干外杆槽，将所述卡接板盖卡入所述浸蚀槽内，所述外杆穿过所述外杆槽。

7.根据权利要求2所述的一种用于石英晶片生产的浸蚀装置，其特征在于，所述浸蚀槽的所述夹套的外壁设有支撑耳。

8.根据权利要求1所述的一种用于石英晶片生产的浸蚀装置，其特征在于，所述浸蚀槽的底部设有电机支架。