[实用新型]一种长光栅镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种长光栅镀膜机，属于真空镀膜设备技术领域，包括若干组相互拼接的单元镀膜装置，所有的单元镀膜装置设置在同一条水平直线上，相邻两个单元镀膜装置之间设有密封紧固装置，每个密封紧固装置包括定位承载部件、定位扣紧部件和锁定部件，所述定位扣紧部件包括主动扣接组件、被动扣接组件和安定位锁定组件，所述定位锁定组件安装在主动扣接组件上，所述被动扣接组件上设有供主动扣接组件插接的扣接槽。本实用新型通过两步锁定作业，将两个相邻的单元镀膜装置紧密的锁定成型，又因为主动扣接组件和被动扣接组件通过定位锁定组件稳固的锁定在一起，大幅度的提高了相邻的两个单元镀膜装置之间的密封性。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是涉及一种长光栅镀膜机。

背景技术

真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体称基板、基片或基体上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。

长光栅镀膜法是由多节镀膜外壳和镀膜床依次拼接而成，能够根据待镀膜器材的长度增加或减少镀膜外壳和镀膜床的数量，能够完成对长度的器材均能完成镀膜作业，现有技术中，相邻两个镀膜外壳在相互拼接过程的步骤比较繁琐，并且拼接完成后衔接处的密封性无法保证严密，则会影响对器材镀膜的效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种长光栅镀膜机，以解决背景技术中的技术问题。

本实用新型提供的一种长光栅镀膜机，包括若干组相互拼接的单元镀膜装置，所有的单元镀膜装置设置在同一条水平直线上，相邻两个单元镀膜装置之间设有密封紧固装置，每个密封紧固装置包括定位承载部件、安装在定位承载部件之间的定位扣紧部件和用于对定位承载部件进行锁固作业的锁定部件，所述定位扣紧部件包括主动扣接组件、被动扣接组件和安装在主动扣接组件与被动扣接组件之间的定位锁定组件，所述定位锁定组件安装在主动扣接组件上，所述被动扣接组件上设有供主动扣接组件插接的扣接槽，在安装状态下，所述定位锁定组件与扣接槽扣紧配合。

进一步，所述定位承载部件包括第一框型板和第二框型板，所述第一框型板和第二框型板的结构相同，所述第一框型板和第二框型板的侧壁上均设有待镀膜的长状器材贯穿的矩形槽，所述锁定部件包括若干定位螺栓，所述第一框型板和第二框型板之间均通过若干间隔设置的定位螺栓，每个定位螺栓均将第一框型板和第二框型板锁定成型。

进一步，所述主动扣接组件包括主动承载板、两个对称分布在主动承载板侧壁两侧的隆起板和若干设置在主动承载板侧壁上下两端的异形卡接块，所述主动承载板的侧壁上设有与矩形槽相同形状以及尺寸的第一贯穿槽，所述定位锁定组件分别设置在两个隆起板上，每个所述隆起板上均设有供定位锁定组件安装在圆槽，所述主动承载板设有供若干定位螺栓贯穿的安装孔。

进一步，所述被动扣接组件包括被动承载板，所述主动承载板的侧壁上设有与矩形槽相同形状以及尺寸的第二贯穿槽，所述被动承载板上设有两个对称设置的竖直条状槽和若干异形槽，两个竖直条状槽与两个隆起板一一对应，若干异形卡接块与若干异形槽一一对应，所述扣接槽设置在两个竖直条状槽内，所述扣接槽包括若干与定位锁定组件卡接配合的卡接槽。

进一步，所述定位锁定组件包括若干个与若干个圆槽一一对应设置的卡接组，每个扣接组均呈水平状态设置，每个扣接组包括扣接弹簧和卡接头，每个扣接弹簧的一端与圆槽的底壁固定连接，所述卡接头安装在扣接弹簧的另一端，所述卡接头延伸出圆槽外，在安装状态下，所述卡接头与卡接槽卡接配合。

进一步，每个所述异形卡接块均为S型结构，每个异形卡接块的拐角处均倒有圆角。

进一步，所述主动承载板和被动承载板均由耐高温隔热材质制成。

与现有技术相比较，本实用新型的有益效果在于：