[实用新型]一种抛光液回收再利用装置

说明书

本实用新型公开了一种抛光液回收再利用装置，包括筒体、安装在筒体底部一侧的出水管、活动连接在筒体上端开口处的端盖以及连接在端盖上的入水管，筒体的内部转动安装有内板，内板上周向布置有若干个竖直安装的侧架，两个相邻侧架之间设有卡槽；端盖的中心转动安装有中心轴，中心轴的外部周向布置有若干个搅拌叶。本实用新型实现了中心轴的转动方向与外侧齿环带动过滤仓转动方向相反，可达到搅拌与过滤同时进行，提高搅过滤效率；当需要清理杂质时，只需往筒体内注入清水且反转电机，在离心力的作用下，可实现将过滤仓内部的杂质稀释并散落在筒体内，通过出水口排出即可。

技术领域

本实用新型属于回收装置技术领域，具体涉及一种抛光液回收再利用装置。

背景技术

在使用粗抛机和精抛机对硅片进行打磨、抛光的过程中，需要对其注入抛光液，为了降低生产成本抛光液一般都是循环使用的，但在带有杂质的抛光液不仅会破坏产品的表面精度，还会阻塞管道使抛光液流通不畅，造成产品未抛透或产品产生凹点等不良。为了避免出现上述状况，必须对抛光液进行过滤，现如今对抛光液进行过滤的机器，过滤效果不明显，且过滤装置清理复杂，实用性较差，为此，急需一种能够解决上述问题的抛光液回收再利用装置。

实用新型内容

针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种抛光液回收再利用装置，可实现回收、清理方便的抛光液回收再利用装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种抛光液回收再利用装置，包括筒体、安装在筒体底部一侧的出水管、活动连接在筒体上端开口处的端盖以及连接在端盖上的入水管，所述筒体的内部转动安装有内板，内板上周向布置有若干个竖直安装的侧架，两个相邻侧架之间设有卡槽；

所述端盖的中心转动安装有中心轴，所述中心轴的外部周向布置有若干个搅拌叶，所述中心轴的上端外部固定安装有驱动齿轮，所述驱动齿轮的外侧啮合连接有多个连接齿轮，所述连接齿轮转动安装在端盖上，所述连接齿轮的外侧啮合连接有齿环，所述齿环转动安装在端盖上，所述齿环的底部周向安装有若干个过滤仓，所述过滤仓与卡槽相适配并与内板和侧架连接形成内筒，内筒内部为内腔，内筒与筒体之间所形成的腔为外腔。

优选地，所述筒体内部腔底安装有轴承，所述内板活动安装在轴承上。

优选地，所述过滤仓为一侧设有开口的三角柱，且过滤仓的侧壁和底壁均为过滤网。

优选地，所述侧架的两侧均设有插槽，所述过滤仓的外壁上安装有密封条，所述密封条与对应插槽相适配。

优选地，所述端盖的上端中心安装有用于驱动中心轴转动的驱动电机。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

(1)、本实用新型通过驱动齿轮、连接齿轮和齿环的连接，实现了中心轴的转动方向与外侧齿环带动过滤仓转动方向相反，可达到搅拌与过滤同时进行，提高搅过滤效率；

(2)、本实用新型通过将过滤仓设置为一侧设有开口的三角柱，且三角柱的侧壁与底板均为过滤层，实现了可将过滤后的杂质留在过滤仓内，方便清理；

(3)、本实用新型通过内板为可拆卸部件，实现了当需要清理杂质时，只需往筒体内注入清水且反转电机，在离心力的作用下，可实现将过滤仓内部的杂质稀释并散落在筒体内，通过出水口排出即可。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的内部剖视图；

图3为本实用新型过滤仓与内板的连接爆炸图；

图4为本实用新型图2的A-A处剖视图；

图5为本实用新型端盖与过滤仓的局部连接剖视图。