[实用新型]一种高温度稳定性的声表波滤波器有效
申请号: | 201921256970.2 | 申请日: | 2019-08-05 |
公开(公告)号: | CN210986061U | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 刘绍侃;蒋燕港;卢翠;李强 | 申请(专利权)人: | 北京中讯四方科技股份有限公司;深圳华远微电科技有限公司 |
主分类号: | H03H9/64 | 分类号: | H03H9/64;H03H9/02 |
代理公司: | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人: | 李倩竹 |
地址: | 100000 北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 温度 稳定性 声表波 滤波器 | ||
1.一种高温度稳定性的声表波滤波器,其特征在于:包括
压电基底,至少具有一平面;
叉指换能器电极,所述叉指换能器电极是固定设置在所述压电基底的所述平面上;
绝缘保护层,所述绝缘保护层具有相对的两个表面,其中一表面层叠结合在所述压电基底的所述平面上,并覆盖所述叉指换能器电极;另一表面上形成有若干间隔分布的凸起。
2.根据权利要求1所述的声表波滤波器,其特征在于:单个所述凸起的顶部宽度小于根部宽度,且单个所述凸起的侧面为斜面。
3.根据权利要求2所述的声表波滤波器,其特征在于:单个所述凸起的所述顶部宽度与所述根部宽度的比值为0.3-0.4。
4.根据权利要求1-3任一项所述的声表波滤波器,其特征在于:相邻所述凸起之间的间距为0.3-0.8μm,且所述两相邻凸起间距与相邻金属叉指条间距一致。
5.根据权利要求1-3任一项所述的声表波滤波器,其特征在于:所述凸起的高度为1.0-1.1μm。
6.根据权利要求1-3任一项所述的声表波滤波器,其特征在于:单个所述凸起形成的位置与所述叉指换能器电极的单根电极正对应。
7.根据权利要求1-3任一项所述的声表波滤波器,其特征在于:所述绝缘保护层总厚度为0.29-0.31λ,所述λ为声波波长。
8.根据权利要求1-3任一项所述的声表波滤波器,其特征在于:所述叉指换能器电极的厚度为0.045-0.055λ。
9.根据权利要求1-3任一项所述的声表波滤波器,其特征在于:在雷达、移动通信、信道化接收机、遥感遥测系统中的应用。
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