[实用新型]一种清洗液的回收装置

说明书

本实用新型提供一种清洗液的回收装置，包括第一蒸馏单元、第二蒸馏单元、储液箱和减压蒸馏单元，第二蒸馏单元与减压蒸馏单元之间设置有导气管和导液管，第二蒸馏单元设置有抽气泵，减压蒸馏单元内设置有液位检测单元。第一蒸馏单元对清洗液进行低温冷凝液化，并将气体排出。冷凝下的液体输送至减压蒸馏单元中将其中的水分分离。通过液位检测单元检测减压蒸馏单元内的液位，并结合第一阀门和第二阀门，并使用抽气泵将减压蒸馏单元内的气体会经由第二蒸馏单元，通过第二蒸馏单元的低温再次蒸馏后排出。而冷凝下的清洗液的液体则收集与储液箱内，在通过储液箱进行转存或输送即可，完成对清洗液的回收再利用的目的，降低生产的成本。

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀设备领域，尤其涉及一种清洗液的回收装置。

背景技术

在当前OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机电致发光二极管) 技术中，用于真空蒸镀的掩模板非常重要和关键，该部件的精度与质量将直接决定OLED产品的显示效果与品质。因此在蒸镀制程中掩膜板(Mask)会粘粘一些有机发光材料，所以在使用掩模板前，必须进行清洁。

目前掩模板清洗机一般使用清洗液与漂洗液两种药液，首先通过清洗液去除有机材料，然后再利用漂洗液如氢氟醚系列溶液(HFE)带走清洗液，最后烘干以完成整个清洗流程。清洗液具有很强的溶解能力，但其本身不具备高挥发性，需依靠漂洗液与清洗液相互溶解以去除掩膜板上的清洗液，因此漂洗液就必须具有很强的挥发性才能避免在掩模板干燥后出现残留，但是为达到制程要求清洗设备使用的漂洗液价格非常昂贵，在清洗过程中难以避免清洗槽内漂洗液的挥发，因此需要频繁补充，并且目前行业内并无相关回收解决方案，从而导致掩模板的清洗成本大大增加，直接提高了OLED显示屏的生产成本。

实用新型内容

为此，需要提供一种清洗液的回收装置，解决现有的掩模板清洗机不具有回收装置，以及清洗成本较高的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种清洗液的回收装置，包括第一蒸馏单元、第二蒸馏单元、储液箱和减压蒸馏单元；所述第一蒸馏单元与减压蒸馏单元管连接设置，所述第二蒸馏单元与减压蒸馏单元之间设置有导气管和导液管，所述导气管位于导液管的上方，所述第二蒸馏单元设置有抽气泵，所述抽气泵与第二蒸馏单元的出气口连接设置，所述储液箱与第二蒸馏单元的出液口管连接设置；所述减压蒸馏单元内设置有液位检测单元，所述液位检测单元用于检测减压蒸馏单元的内腔中的液位，所述第一蒸馏单元与减压蒸馏单元之间的输送管上设置有第一阀门，所述导液管上设置有第二阀门。

进一步地，还包括加热单元，所述减压蒸馏单元设置在加热单元的加热器上。

进一步地，所述加热单元为水浴加热器或油浴加热器。

进一步地，还包括清洗槽，所述清洗槽与储液箱管连接设置。

进一步地，所清洗槽与储液箱之间设置有第三阀门，所述导液管位于第三阀门与储液箱之间。

进一步地，还包括引风机，所述第一蒸馏单元与清洗槽管连接，所述引风机设置在第一蒸馏单元与清洗槽之间的连接管上，所述引风机用于将挥发的清洗液气体抽送至第一蒸馏单元内。

进一步地，所述第一蒸馏单元包括存储箱，所述存储箱与第一蒸馏单元的出液口管连接设置，所述存储箱与减压蒸馏单元管连接设置。

进一步地，还包括补气罐，所述补气罐与减压蒸馏单元管连接，所述补气罐用于对减压蒸馏单元和第二蒸馏单元内通入氮气保持腔体内部的大气压与外部大气压的平衡。

进一步地，所述液位检测单元包括第一液位传感器和第二液位传感器，所述第一液位传感器和第二液位传感器设置在减压蒸馏单元的腔体侧壁上，且所述第一液位传感器位于第二液位传感器的上方。