[实用新型]基于光谱共焦的压电陶瓷d15参数测量装置有效
| 申请号： | 201921051994.4 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN209727045U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 杨晓峰;郝凌凌;陈庆生;康华洲;王振华 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01J3/28 |
| 代理公司： | 31342 上海上谷知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蔡继清;姜龙<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 528200 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 横向位移 色散透镜 分光镜 光谱 信号处理模块 本实用新型 纵向位移 光源 参数测量装置 压电陶瓷叠堆 逆压电效应 光学测试 压电陶瓷 直接测量 被测件 纳米级 透射 共焦 组入 反射 测量 测试 返回 | ||
1.一种基于光谱共焦的压电陶瓷d15参数测量装置，其特征在于，所述测量装置包括光源、分光镜、色散透镜组、横向位移台、纵向位移台以及光谱信号处理模块，待测试的压电陶瓷叠堆设置于所述横向位移台和所述纵向位移台之间，从光源发出的光经过所述分光镜后到达所述色散透镜组，经所述色散透镜组入射到所述横向位移台，经过所述横向位移台反射回所述色散透镜组，经过分光镜透射返回光谱信号处理模块。
2.根据权利要求1所述的压电陶瓷d15参数测量装置，其特征在于，所述装置还包括安装架，所述安装架设有导轨，所述横向位移台和所述纵向位移台安装于所述导轨上，且所述横向位移台能够沿垂直于所述导轨的方向运动，所述纵向位移台能够沿所述导轨的方向运动。
3.根据权利要求1所述的压电陶瓷d15参数测量装置，其特征在于，所述测量装置还包括扩束准直透镜组，所述扩束准直透镜组设置于所述光源与所述分光镜之间。
4.根据权利要求3所述的压电陶瓷d15参数测量装置，其特征在于，所述分光镜为偏振分光镜，所述测量装置还包括偏振片，所述偏振片设置于所述扩束准直透镜组与所述偏振分光镜之间并用于将所述扩束准直透镜组扩束后的自然光转换为线偏振光，再经过所述偏振分光镜全部反射至所述色散透镜组中。
5.根据权利要求4所述的压电陶瓷d15参数测量装置，其特征在于，所述测量装置还包括四分之一波片，所述四分之一波片设置于所述偏振分光镜与所述色散透视组之间。
6.根据权利要求1所述的压电陶瓷d15参数测量装置，其特征在于，所述测量装置还包括光学组件壳体，所述光源、分光镜、色散透镜组以及光谱信号处理模块安装于所述光学组件壳体内。
7.根据权利要求6所述的压电陶瓷d15参数测量装置，其特征在于，所述光学组件壳体设有通孔，离开所述色散透镜组的光线从所述通孔入射到所述横向位移台上。
8.根据权利要求2所述的压电陶瓷d15参数测量装置，其特征在于，所述导轨上设有横向位移台安装座，所述横向位移台安装座安装于所述导轨上并可以沿所述导轨上下滑动，所述横向位移台安装座上设有锁定件，通过所述锁定件可以将所述横向位移台安装座固定在所述导轨上。
9.根据权利要求2所述的压电陶瓷d15参数测量装置，其特征在于，所述安装架包括上基座、下基座以及光学导轨，所述光学导轨安装于所述上基座与下基座之间，所述纵向移台安装于所述光学导轨的上部，以及所述横向位移台安装于所述光学导轨的下部。
10.根据权利要求6所述的压电陶瓷d15参数测量装置，其特征在于，较佳地，所述光学组件壳体安装于所述光学组件支座上，所述光学组件支座与所述安装架并排布置。
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