[实用新型]一种光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置

说明书

本实用新型公开了一种光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置，包括底座、灯条和抛光片本体，所述底座上安装有灯条，且底座上安装有竖筒，并且竖筒上开设有定位槽，所述定位槽的内部安装有固定杆，且固定杆安装在固定槽的内部，并且固定槽开设在底座上，所述竖筒上安装有控制杆，且控制杆和横杆相连接，并且横杆安装在竖筒上，所述横杆安装在固定筒的内部，且固定筒固定在活动板上，所述竖筒安装在安装孔的内部，所述功能槽的内部固定有限位块。该光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置，设计了具有调节功能的结构，解决了传统装置不方便调节检测高度的问题，同时设计了具有固定功能的结构，解决了传统装置检测效率低的问题。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅技术领域，具体为一种光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置。

背景技术

单晶硅抛光片是集成电路加工中重要的组成材料之一，其中单晶硅抛光片热处理工艺可以有效提高单晶硅抛光片的品质。

随着单晶硅抛光片的不断应用和发展，单晶硅抛光镜片在加工过程中的缺点也逐渐显现，单晶硅抛光镜片在抛光使用的过程中，会产生腐蚀特征点，其中腐蚀特征点为单晶硅抛光镜片在抛光中出现的瑕疵，其中所产生的瑕疵会导致单晶硅抛光镜片使用效果下降，现有的检测装置，需要通过对单晶硅抛光镜片进行透光检查。

现有的镜片检测装置在使用时存在着不方便调节检测高度和检测效率低的缺点。针对上述问题，急需在原有镜片检测装置的基础上进行创新设计。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置，以解决上述背景技术中提出不方便调节检测高度和检测效率低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置，包括底座、灯条和抛光片本体，所述底座上安装有灯条，且底座上安装有竖筒，并且竖筒上开设有定位槽，所述定位槽的内部安装有固定杆，且固定杆安装在固定槽的内部，并且固定槽开设在底座上，所述竖筒上安装有控制杆，且控制杆和横杆相连接，并且横杆安装在竖筒上，所述横杆安装在固定筒的内部，且固定筒固定在活动板上，并且活动板安装在活动槽的内部，同时活动槽开设在竖筒上，所述竖筒安装在安装孔的内部，且安装孔开设在横板上，并且横板上开设有功能槽，所述功能槽的内部固定有限位块，且功能槽的内部安装有抛光片本体，并且抛光片本体和限位块相连接。

优选的，所述定位槽和固定杆为卡合连接，且固定杆和固定槽为滑动连接，并且固定杆的末端设置为弧形。

优选的，所述控制杆和横杆上均设置有锥齿轮，且控制杆和横杆上的锥齿轮为啮合连接，并且横杆关于控制杆的中心线对称设置。

优选的，所述横杆和固定筒为螺纹连接，且固定筒关于活动板的中心线对称设置，并且活动板和活动槽为滑动连接。

优选的，所述安装孔的内部嵌套有竖筒，且限位块关于安装孔的中心线等角度设置，并且限位块和抛光片本体为卡合连接，同时抛光片本体嵌套在功能槽的内部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置，采用了新型的结构设计，设计了具有调节功能的结构，解决了传统装置不方便调节检测高度的问题，同时设计了具有固定功能的结构，解决了传统装置检测效率低的问题；

1.底座、灯条、竖筒、控制杆、横杆、固定筒、活动板、活动槽、安装孔和横板组成的结构是装置实现调节功能的结构基础，通过对控制杆进行控制，实现对活动板的控制，通过活动板对横板进行固定，从而对横板上抛光片本体调节后的高度进行固定，解决了传统装置不方便调节检测高度的问题；

2.底座、灯条、竖筒、定位槽、固定杆、固定槽、横板、功能槽、限位块和抛光片本体组成的结构是装置实现固定功能的结构基础，通过功能槽和限位块对抛光片本体进行固定，通过定位槽和固定杆方便使用者对检测位置进行判断，解决了传统装置检测效率低的问题。

附图说明