[实用新型]一种用于晶圆多点测试的探针卡

说明书

本实用新型公开了一种用于晶圆多点测试的探针卡，涉及探针卡领域，包括PCB板，PCB板的前侧面中部固定连接有探针基座，探针基座的前侧面固定连接有多个探针，探针包括探针筒和探针柱，探针柱设置于探针筒的顶端，探针柱的顶端设置为半圆形，探针柱的底端插入探针筒，探针柱的底端固定连接有挡盘，挡盘的直径大于探针筒筒口的内径，挡盘的下表面设有探针弹簧。本实用新型通过探针筒、探针柱、挡盘、滑槽以及探针弹簧的配合使用，能够对测试时产生的压力进行缓冲，避免过大的压力对探针柱造成损坏，同时能够保证探针柱与芯片接触，通过将探针柱的顶端设置为半圆形，能够延长探针柱的使用寿命，结构简单实用。

技术领域

本实用新型涉及探针卡领域，特别涉及一种用于晶圆多点测试的探针卡。

背景技术

探针卡是一种测试接口，主要对晶圆进行测试，通过将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制对芯片参数进行测试。

由于多根探针在安装时很难做到各个针头处于同一水平面，探针卡在进行晶圆多点同时测试(多点同测)时，需要对各个探针稍微施加压力，以确保每个探针都能可靠接触到芯片上的焊垫或凸块。但传统的探针卡的探针尖端为圆尖状，多次被施加压力进行测试后容易发生针尖损坏，使用寿命不长久。

因此，发明一种用于晶圆多点测试的探针卡来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆多点测试的探针卡，以解决上述背景技术中提出的现有的探针卡的探针尖端为圆尖状，多次被施加压力进行测试后容易发生针尖损坏，使用寿命不长久的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于晶圆多点测试的探针卡，包括PCB板，所述PCB板的前侧面中部固定连接有探针基座，所述探针基座的前侧面固定连接有多个探针；

所述探针包括探针筒和探针柱，所述探针柱设置于探针筒的顶端，所述探针柱的顶端设置为半圆形，所述探针柱的底端插入探针筒，所述探针柱的底端固定连接有挡盘，所述挡盘的直径大于探针筒筒口的内径，所述挡盘的下表面设有探针弹簧。

可选的，多个所述探针设置有多排，每排多个所述探针等间距分布。

可选的，所述PCB板呈圆形，所述PCB板的周向开设有多个定位槽，多个所述定位槽绕PCB板的圆心呈环形阵列分布。

可选的，所述探针筒内开设有与所述挡盘适配的滑槽，所述挡盘与滑槽滑动连接。

可选的，所述探针弹簧的顶端与挡盘贴合，所述探针弹簧的底端与探针筒的内底壁贴合。

本实用新型的技术效果和优点：

本实用新型通过探针筒、探针柱、挡盘、滑槽以及探针弹簧的配合使用，能够对测试时产生的压力进行缓冲，避免过大的压力对探针柱造成损坏，同时能够保证探针柱与芯片接触，通过将探针柱的顶端设置为半圆形，能够延长探针柱的使用寿命，结构简单实用。

附图说明

图1为本实用新型结构的示意图。

图2为本实用新型探针基座结构的仰视图。

图3为本实用新型探针结构的剖面示意图。

图中：1、PCB板；2、探针基座；3、探针；4、定位槽；5、探针筒；6、探针柱；7、挡盘；8、滑槽；9、探针弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。