[实用新型]一种轮类零件承载装置有效
申请号: | 201921013412.3 | 申请日: | 2019-06-29 |
公开(公告)号: | CN210418243U | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 罗爱斌;宾启雄;彭家焕;孟国浩;谭继军;叶水景;周铁军 | 申请(专利权)人: | 广东先导先进材料股份有限公司 |
主分类号: | B65G47/248 | 分类号: | B65G47/248 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李宁 |
地址: | 511517 广东省清*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 零件 承载 装置 | ||
本实用新型公开了一种轮类零件承载装置,包括工作台、驱动辊、驱动装置以及限位档,其中,两个驱动辊平行并排、相互间隔且可转动地设置于工作台,两个驱动辊能够在驱动装置的驱动下同步转动,多个限位档沿驱动辊长度方向相互间隔地设置于两个限位档之间的间隙;在使用时,将多个轮类零件设置于两个驱动辊之间,且以限位档将各个轮类零件相互间隔,利用驱动装置带动两个驱动辊同步转动,从而带动各个轮类零件转动,以便于检测人员在整个周向上对轮类零件的轮内槽进行检视,达到减少轮内槽缺陷造成的断线现象,减少晶片损失的目的。
技术领域
本实用新型涉及晶片生产设备技术领域,特别涉及一种轮类零件承载装置。
背景技术
V形轮、导线轮、放线轮等轮类零件是半导体晶体生产中的重要设备,且数量众多,在生产之前,必须对其轮内槽外观进行检视,以防止由于轮内槽的问题导致在生产过程中出现断线现象造成晶片损失,同时发生断线后,还需要进行断线异常原因排查,根据异常排查的原因进行断线问题针对性措施的处理。
因此如何使上述轮类零件便于进行全面有效的检测,是本领域技术人员亟待解决的重要技术问题。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型的目的在于提供一种轮类零件承载装置,以便于对轮类零件进行全面有效的检测,从而减少由于轮内槽缺陷造成的断线现象,减少晶片损失。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种轮类零件承载装置,包括工作台、驱动辊、驱动装置以及限位档,两个所述驱动辊平行并排、相互间隔且可转动地设置于所述工作台,两个所述驱动辊能够在所述驱动装置的驱动下同步转动,多个所述限位档沿所述驱动辊长度方向与被测轮类零件相互间隔地设置于两个所述驱动辊的间隙。
优选地,所述驱动装置包括传动皮带轮系以及电机,所述电机设置于所述工作台,所述传动皮带轮系的主动轮连接于所述电机的输出轴,所述传动皮带轮系的两个从动轮分别设置于两个所述驱动辊的端部,所述传动皮带轮系的皮带绕过主动轮以及两个从动轮。
优选地,所述驱动装置还包括张紧轮,所述张紧轮用于顶紧所述皮带。
优选地,所述限位档包括底座以及纵向挡板,所述纵向挡板连接于所述底座的一端形成L形结构。
优选地,所述驱动辊的表面设置有橡胶层。
优选地,所述工作台包括台面以及四个支撑腿,四个所述支撑腿的底部均设置有万向轮。
优选地,所述工作台上设置有万向LED灯。
优选地,所述工作台上设置有用于对所述限位档进行定位的定位结构。
优选地,还包括设置于所述工作台上方的CCD成像仪,所述CCD成像仪用于拍摄轮类零件的表面图像,所述CCD成像仪连接有用于显示所述CCD成像仪拍摄到的图像的显示器。
为实现上述目的,本实用新型提供了一种轮类零件承载装置,包括工作台、驱动辊、驱动装置以及限位档,其中,两个驱动辊平行并排、相互间隔且可转动地设置于工作台,两个驱动辊能够在驱动装置的驱动下同步转动,多个限位档沿驱动辊长度方向与被测轮类零件相互间隔地设置于两个驱动辊的间隙;在使用时,将多个轮类零件设置于两个驱动辊之间,且以限位档将各个轮类零件相互间隔,利用驱动装置带动两个驱动辊同步转动,从而带动各个轮类零件转动,以便于检测人员在整个周向上对轮类零件的轮内槽进行检视,达到减少轮内槽缺陷造成的断线现象,减少晶片损失的目的。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
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