[实用新型]一种炉顶氮气吹扫装置

说明书

本实用新型公开的属于氮气吹扫装置技术领域，具体为一种炉顶氮气吹扫装置，包括安装架，所述安装架通过所述卡块和所述滑槽配合与所述支撑杆滑动连接，所述吹扫件设于所述安装架内腔侧壁，所述辅助冷却件设于所述安装架内腔侧壁底部，通过冷却管内的冷却水对炉气进行水冷降温，使得炉气中的粉尘沉降，然后通过外部氮气供给装置连通载气入口提供氮气，利用吹扫嘴对残留在炉顶列管间的粉尘进行全面吹扫，同时，可通过卡块与滑槽配合对装置整体进行升降，方便使用，有效地避免了堵灰现象的发生，保证了炉顶处于良性的运行状态，大大减少了处理料面的时间，能够保持稳定的长周期运行，提高了生产效率。

技术领域

本实用新型涉及吹扫装置技术领域，具体为一种炉顶氮气吹扫装置。

背景技术

随着半导体的不断发展，对材料的要求也越来越高，现代科学和技术需要使用大量功能各异的无机新材料，这些功能材料必须是高纯的，或者是在高纯材料中有意地掺入某种杂质形成的掺杂材料。

生产过程中会产生大量炉气，并且伴随着大量粉尘，因此对炉气进行净化处理显得非常关键，但在实际的炉气水冷净化过程中，由于缺少气体吹扫装置，在降温过程中导致粉尘的沉降，经常会发生堵灰现象，进而影响设备的稳定运行，对生产造成严重的影响，实用性不强，为此，提出一种炉顶氮气吹扫装置。

实用新型内容

本部分的目的在于概述本实用新型的实施方式的一些方面以及简要介绍一些较佳实施方式。在本部分以及本申请的说明书摘要和实用新型名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和实用新型名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本实用新型的范围。

鉴于上述和/或现有的炉顶吹扫装置中存在的问题，提出了本实用新型。

因此，本实用新型的目的是提供一种炉顶氮气吹扫装置，能够解决现有的炉气水冷净化过程中，由于缺少气体吹扫装置，在降温过程中导致粉尘的沉降，经常会发生堵灰现象，进而影响设备的稳定运行，对生产造成严重的影响，实用性不强的问题。

为解决上述技术问题，根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供了如下技术方案：

一种炉顶氮气吹扫装置，其包括：安装架、支撑杆、吹扫件和辅助冷却件，所述安装架外侧壁左右两侧均固接有卡块，所述安装架外侧壁左右两侧均设置所述支撑杆，两个所述支撑杆相视一侧外侧壁均开设有滑槽，所述安装架通过所述卡块和所述滑槽配合与所述支撑杆滑动连接，所述吹扫件设于所述安装架内腔侧壁，所述吹扫件包括连接软管、分流管和吹扫嘴，所述安装架外侧壁顶部开设有载气入口，所述连接软管与所述载气入口连通，所述连接软管端部连接所述分流管，所述分流管外侧壁设置多个所述吹扫嘴，所述辅助冷却件设于所述安装架内腔侧壁底部，所述辅助冷却件由连接架、和冷却管组成，所述连接架固接于所述安装架内侧壁底部，所述冷却管套接于所述安装架外侧壁。

作为本实用新型所述的一种炉顶氮气吹扫装置的一种优选方案，其中：所述连接架外侧壁对应所述分流管下方设置有连杆，所述连杆外侧壁对应多个所述吹扫嘴位置开设有多个风口，多个所述吹扫嘴为具有耐酸耐磨耐腐蚀的特氟龙材料制成，且多个所述吹扫嘴沿所述连杆外侧壁从左到右呈线性等距排列。

作为本实用新型所述的一种炉顶氮气吹扫装置的一种优选方案，其中：所述连接架外侧壁分别开设有冷却液入口和冷却液出口，所述冷却液入口与所述冷却管的进液管连通，所述冷却液出口与所述冷却管的出液管连通。

作为本实用新型所述的一种炉顶氮气吹扫装置的一种优选方案，其中：两个所述支撑杆底部均设有连接座，且两个所述支撑杆外侧壁均设有与所述卡块插装配合的卡销。