[实用新型]应用于液氮冷阱的放溢装置有效
申请号: | 201920990537.5 | 申请日: | 2019-06-26 |
公开(公告)号: | CN210751366U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 高金德;陈强 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | B01D8/00 | 分类号: | B01D8/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅 |
地址: | 201315*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 应用于 液氮 装置 | ||
1.一种应用于液氮冷阱的放溢装置,其特征在于,所述放溢装置具有双层结构,包括杯状主体和防冻保护层,所述防冻保护层设置在所述杯状主体的外表面,所述杯状主体的内直径大于液氮冷阱的外直径,所述杯状主体的内腔底部与所述液氮冷阱的底部连接。
2.如权利要求1所述的应用于液氮冷阱的放溢装置,其特征在于,所述放溢装置还包括连接组件,所述连接组件设置在所述杯状主体的内腔底部,用于与所述液氮冷阱的底部连接。
3.如权利要求2所述的应用于液氮冷阱的放溢装置,其特征在于,所述连接组件为磁铁或螺丝。
4.如权利要求1所述的应用于液氮冷阱的放溢装置,其特征在于,所述杯状主体与防冻保护层的高度相同,两者处于齐平状态。
5.如权利要求4所述的应用于液氮冷阱的放溢装置,其特征在于,所述杯状主体的高度小于所述液氮冷阱的出口管与所述液氮冷阱底部之间的距离。
6.如权利要求1所述的应用于液氮冷阱的放溢装置,其特征在于,所述杯状主体的材质为金属材质。
7.如权利要求1所述的应用于液氮冷阱的放溢装置,其特征在于,所述杯状主体的材质为不锈钢材质。
8.如权利要求1所述的应用于液氮冷阱的放溢装置,其特征在于,所述防冻保护层的材质为泡沫材质。
9.如权利要求1所述的应用于液氮冷阱的放溢装置,其特征在于,所述杯状主体的侧壁垂直于所述杯状主体的底面。
10.如权利要求1所述的应用于液氮冷阱的放溢装置,其特征在于,所述杯状主体的侧壁向外围倾斜与所述杯状主体的底面形成一个大于90°且小于180°的夹角。
11.如权利要求10所述的应用于液氮冷阱的放溢装置,其特征在于,所述夹角的范围选在120°~150°之间。
12.如权利要求1所述的应用于液氮冷阱的放溢装置,其特征在于,所述防冻保护层的外表面设有一塑料薄膜层。
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