[实用新型]一种ITO废靶的连续回收装置

权利要求书

1.一种ITO废靶的连续回收装置，其特征在于，包括炉体（10）和设于所述炉体（10）外侧壁上的感应线圈（20），所述炉体（10）的侧壁上连接有向所述炉体（10）进料的第一螺旋进料管（30），所述第一螺旋进料管（30）上连接有向所述第一螺旋进料管（30）进料的第二螺旋进料管（40）、第三螺旋进料管（50），所述第二螺旋进料管（40）上通过管道连通有炭粉仓（41），所述第三螺旋进料管（50）上通过管道连通有回收靶材仓（51），所述第二螺旋进料管（40）、第三螺旋进料管（50）的进料速度比值为0.1至0.2。

2.如权利要求1所述的ITO废靶的连续回收装置，其特征在于，所述第一螺旋进料管（30）、第二螺旋进料管（40）和第三螺旋进料管（50）均包括圆筒形的管体（31）、连接在所述管体（31）端部的固定座（32），所述固定座（32）上转动连接有转轴（33），所述转轴（33）设于所述管体（31）中间，所述转轴（33）上设有螺旋送料片（34）。

3.如权利要求2所述的ITO废靶的连续回收装置，其特征在于，所述第一螺旋进料管（30）的转轴（33）上通过齿轮传动连接有第一马达（60）。

4.如权利要求3所述的ITO废靶的连续回收装置，其特征在于，所述第二螺旋进料管（40）、第三螺旋进料管（50）的管体（31）的直径比值为1:2，所述第二螺旋进料管（40）、第三螺旋进料管（50）的转轴（33）均通过齿轮传动连接有第二马达（70），所述第二螺旋进料管（40）、第三螺旋进料管（50）的转轴（33）的转速相同。

5.如权利要求4所述的ITO废靶的连续回收装置，其特征在于，所述第一螺旋进料管（30）倾斜连接在所述炉体（10）的外侧壁上。

6.如权利要求5所述的ITO废靶的连续回收装置，其特征在于，所述第二螺旋进料管（40）、第三螺旋进料管（50）水平连接在所述第一螺旋进料管（30）上。