[实用新型]一种半导体制程clamp ring平面度检测治具

说明书

本实用新型公开了一种半导体制程clamp ring平面度检测治具，包括治具主体、千分表、基座和螺柱，所述治具主体的上端面开设有凹槽，所述凹槽内侧的治具主体中点处开设有螺纹孔，所述螺纹孔的上方放置有基座，所述基座通过螺柱穿过螺纹孔与治具主体固定连接，所述基座的上方安装有千分表，所述千分表的一端安装有测头，所述凹槽上方的治具主体内侧边缘处开设有弧形凹口。本实用新型通过设置基座、千分表、测头、治具主体、螺柱、螺纹孔结构，解决了缺乏能够快速检测治具平面度的工具和平面度检测工具不易平稳固定安装的问题。

技术领域

本实用新型涉及治具技术领域，具体为一种半导体制程clamp ring平面度检测治具。

背景技术

半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。而半导体制程clamp ring的工艺过程中，需要用到治具，为了检测治具是否符合生产需求，需要对其进行平面度检测，而平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。公差带是距离为公差值t的两平行平面之间的区域。平面度属于形位误差中的形状误差。平面度测量是指被测实际表面对其理想平面的变动量。平面度误差是将被测实际表面与理想平面进行比较，两者之间的线值距离即为平面度误差值；或通过测量实际表面上若干点的相对高度差，再换算以线值表示的平面度误差值，对于半导体制程clamp ring的工艺中，平面度的细微误差都有可能导致工件无法使用，所以为了提高合格率，降低成本，必须对平面度进行检测。

但是现有的技术存在以下的不足：

1、现有的半导体制程clamp ring的工艺中，需要用到治具加以配合制造生产，然而缺乏能够快速检测治具平面度的辅助工具；

2、在对治具进行平面检测时，若检测工具固定不平稳，不牢固，极易造成极大的偏差，导致数据性的偏差。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体制程clamp ring平面度检测治具，解决了缺乏能够快速检测治具平面度的工具和平面度检测工具不易平稳固定安装的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体制程clamp ring平面度检测治具，包括治具主体、千分表、基座和螺柱，所述治具主体的上端面开设有凹槽，所述凹槽内侧的治具主体中点处开设有螺纹孔，所述螺纹孔的上方放置有基座，所述基座通过螺柱穿过螺纹孔与治具主体固定连接，所述基座的上方安装有千分表，所述千分表的一端安装有测头，所述凹槽上方的治具主体内侧边缘处开设有弧形凹口。

优选的，所述千分表的底部安装有滑块，所述基座的上端开设有滑槽，所述千分表通过滑块与基座上的滑槽滑动连接。

优选的，所述治具主体上端面开设的弧形凹口共设有三组，且千分表一端的测头伸入弧形凹口内部。

优选的，所述螺柱上端的两侧安装有手柄，所述基座的一端位于螺纹孔上方，另一端朝向弧形凹口，且螺柱穿过基座与治具主体内的螺纹孔固定连接。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种半导体制程clamp ring平面度检测治具，具备以下有益效果：