[实用新型]一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置

说明书

本实用新型涉及石英坩埚技术领域，且公开了一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置，包括底板，所述底板的顶部固定安装有安装板。该用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置，工作人员先对应坩埚本体的刻蚀线先转动转轮带动齿轮转动，再通过啮合，使齿条向上移动，下挡板随着齿条向上挡板靠近，再转动转轮，使上挡板向下移动，这样使刻蚀线处于下挡板和上挡板之间，然后拿着喷涂枪喷涂涂层，并且工作人员可以抓住转杆并对转杆施加推力，转盘在推力的作用下沿着导轨，在滚珠的滑动作用下转动起来，从而带动坩埚本体转动，通过这样的方式，边转动坩埚本体，边喷涂涂层，操作简便，对坩埚本体刻蚀线附近进行全面喷涂，到达了操作方便的目的。

技术领域

本实用新型涉及石英坩埚技术领域，具体为一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置。

背景技术

石英坩埚作为拉制单晶硅过程中多晶硅料和熔硅的载体，石英坩埚在高温下软化，整体外扩与石墨坩埚贴合紧密，石英坩埚与石墨坩埚间发生化学反应产生气体，气体积聚对石英坩埚存在压力，液面处的硅溶体与石英坩埚相接触的地方存在毛细管力，对石英坩埚有向内的拉力，硅液面处(刻蚀线处)石英玻璃坩埚既受到外侧面气体的压力又受到内侧面毛细管力的拉力，加之石英坩埚高温下粘度降低软化，硅液面处很容易发生向内鼓包变形。

目前拉制半导体单晶用石英坩埚是在石英坩埚刻蚀线附近施加涂层，来增强石英坩埚的强度，但用来喷涂石英坩埚的涂层装置过于简易，而坩埚体积过大，不便移动，进行全面喷涂过于麻烦，并且无法对应刻蚀线进行调整喷涂，为了解决上述问题我们提出了一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置，具备操作方便等优点，解决了用来喷涂石英坩埚的涂层装置过于简易，而坩埚体积过大，不便移动，进行全面喷涂过于麻烦，并且无法对应刻蚀线进行调整喷涂的问题。

(二)技术方案

为实现上述操作方便目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置，包括底板，所述底板的顶部固定安装有安装板，所述安装板的内侧壁固定安装有导轨，所述安装板的内部设置有与导轨滑动连接的转盘，所述转盘的底部固定安装有固定架，所述固定架的内部活动安装有滚珠，所述安装板的右侧活动安装有贯穿安装板的轴杆，所述轴杆的外侧套接有缓冲板，所述轴杆的前后两端均固定安装有连接杆，所述连接杆的外侧套接有上料板，所述上料板的顶部开设有卡槽，所述转盘的顶部活动安装有坩埚本体，所述转盘的顶部固定安装有位于坩埚本体外侧的转杆，所述底板的顶部固定安装有两个支撑杆，前侧所述支撑杆的背面滑动连接有下挡板，所述下挡板远离前侧支撑杆的一端固定安装有齿条，后侧所述支撑杆的正面设置有与齿条啮合的齿轮，后侧所述支撑杆的后侧设置有贯穿支撑杆并与齿轮固定连接的转轮，所述下挡板的内部活动安装有上挡板，两个所述支撑杆之间固定安装有放置板，所述放置板的顶部设置有喷涂枪。

优选的，所述安装板的横截面呈“凹”字形，所述安装板的内侧壁开设有安装槽，所述导轨固定安装在安装槽内。

优选的，所述转盘包括托盘、连接柱和垫板，所述托盘的底部固定安装有连接柱，所述连接柱的底部固定安装有垫板，所述连接柱到安装槽的距离等于导轨的宽度。

优选的，所述固定架呈圆环状，所述滚珠不少于十六个，且滚珠等距离排列在固定架底部。

优选的，所述缓冲板与转盘贴合，所述缓冲板与卡槽相适配。

优选的，所述齿条、齿轮和转轮均有两个，且另外一组齿条、齿轮和转轮与上挡板相适配。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置，具备以下有益效果：