[实用新型]一种用于生产八氟丙烷的纯化装置

说明书

本实用新型公开了一种用于生产八氟丙烷的纯化装置，具体涉及化学加工技术领域，包括冷阱、吸附塔和精馏塔，所述吸附塔设置在冷阱和精馏塔之间，所述吸附塔一侧设置有吸附预热装置；所述吸附预热装置包括预热盒，所述预热盒顶部设置有放置口。本实用新型通过设置有吸附预热装置，将吸附剂放置到放置盒内，在将放置盒放置到预热盒内，使加热棒通电发热，对预热盒进行加热，而放置盒和分隔板均由铝材料制成，有利于提高吸附剂受热的效率，且分隔板不仅可以防止多个吸附剂贴在一起，导致加热效率低，还可以提高吸附剂与放置盒的接触面积，从而进一步的提高加热效率。

技术领域

本实用新型涉及化学加工技术领域，更具体地说，本实用涉及一种用于生产八氟丙烷的纯化装置。

背景技术

八氟丙烷(C3F8)是丙烷的8个氢原子都被氟原子取代后的产物，高纯八氟丙烷电子气体，作为电子器件的清洗剂和刻蚀剂，应用于半导体制造和电子工业。随着半导体器件刻蚀精度要求越来越高，对八氟丙烷的纯度要求也越来越高。一般而言，应用于大规模集成电路的高纯八氟丙烷纯度大于99.999％。

现有的八氟丙烷纯化装置中使用到了吸附塔，而吸附塔在使用过程中，吸附剂需要单独提前进行加热，才能使用，而纯化装置中没有转动针对吸附剂进行加热的装置，导致纯化装置提纯的效率较低。

实用新型内容

为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种用于生产八氟丙烷的纯化装置，通过设置有吸附预热装置，将吸附剂放置到放置盒内，在将放置盒放置到预热盒内，使加热棒通电发热，对预热盒进行加热，而放置盒和分隔板均由铝材料制成，有利于提高吸附剂受热的效率，且分隔板不仅可以防止多个吸附剂贴在一起，导致加热效率低，还可以提高吸附剂与放置盒的接触面积，从而进一步的提高加热效率，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于生产八氟丙烷的纯化装置，包括冷阱、吸附塔和精馏塔，所述吸附塔设置在冷阱和精馏塔之间，所述吸附塔一侧设置有吸附预热装置；

所述吸附预热装置包括预热盒，所述预热盒顶部设置有放置口，所述预热盒内部设置有放置盒，所述放置盒内部设置有多个分隔板，所述放置盒顶部两侧均设置有连接板，两个所述连接板之间设置有密封盖板，所述密封盖板两侧均设置有顶板，所述顶板中部贯穿设有通孔，所述连接板顶部与顶板底部相贴近，所述连接板靠近通孔的一侧设置有连接孔，所述连接孔内部设置有固定杆，所述固定杆顶部设置有转动盘，所述顶板远离密封盖板的一侧底部设置有卡板，所述预热盒靠近卡板的一侧设置有卡槽，所述卡槽与卡板相匹配，所述预热盒内壁设置有多个加热棒，所述密封盖板顶部设置有把手，所述把手中部套设有隔热管套。

在一个优选地实施方式中，所述预热盒一侧设置有气体进入管，所述气体进入管与预热盒相通。

在一个优选地实施方式中，所述放置盒两侧均贯穿设置有通气孔，所述放置盒与分隔板均由铝材料制成。

在一个优选地实施方式中，所述连接孔内壁设置有内螺纹，所述固定杆底部设置有外螺纹，所述固定杆与连接孔螺纹连接。

在一个优选地实施方式中，所述转动盘表面涂有隔热涂层，所述隔热管套由防火棉材料制成。

在一个优选地实施方式中，所述预热盒远离气体进入管的一侧设置有排气管，所述排气管中部设置有控制阀。

在一个优选地实施方式中，所述预热盒一侧设置有温度传感器。

在一个优选地实施方式中，所述分隔板截面形状设置为矩形。

本实用新型的技术效果和优点：