[实用新型]一种高效率检测晶圆的中测台

说明书

本实用新型公开了一种高效率检测晶圆的中测台，属于晶圆检测的技术领域，旨在提供一种可检测感光晶圆的中测台，其技术方案要点是包括探针台主体、开设在探针台主体上的放置槽，所述放置槽内设有可拆卸连接的同轴光装置，所述同轴光装置包括载具板和与载具板可拆卸连接的同轴光源，所述载具板上对应于同轴光源的位置设有透光孔，所述放置槽上盖设有遮光板，所述遮光板罩设在同轴光装置上，所述遮光板可拆卸地设置在放置槽内，所述遮光板朝向放置槽一侧设有限位筒。通过遮光板的设置，能够起到一方面减少同轴光的散失，另一方面减少其他光源的干扰，这样探针卡便能检测到感应晶圆，同时提高晶圆的检测效率和精准度的效果。

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测的技术领域，特别涉及一种高效率检测晶圆的中测台。

背景技术

探针台是用在半导体领域对晶圆上的器件进行特性或故障分析 而使用的精密机台。具体地说，晶圆测试设备包括测试机以及探针台(探针卡)，晶圆测试设备通过探针台实现晶圆中的芯片上每个焊盘(PAD)与测试机的稳定连接；并且由测试机判定晶圆上芯片的特性。

公告号为CN205067532U的中国专利公开了一种探针台，它包括探针台主体和探针卡放置台，其中，所述探针台主体上开设有圆槽，所述探针卡放置台设置在所述圆槽中，所述探针卡放置台中央和圆槽底部中央均开设有贯穿孔，所述探针卡放置台底部连接升降控制装置。

这种探针台虽然能够对晶圆进行检测，但是有的晶圆为感光晶圆，需要在光照条件下才能够进行检测，而这种探针台无法提供光源，从而导致无法检测感光晶圆。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种高效率检测晶圆的中测台，具有能够检测到感光晶圆的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种包括探针台主体、开设在探针台主体上的放置槽，所述放置槽内设有可拆卸连接的同轴光装置，所述同轴光装置包括载具板和与载具板可拆卸连接的同轴光源，所述载具板上对应于同轴光源的位置设有透光孔，所述放置槽上盖设有遮光板，所述遮光板罩设在同轴光装置上，所述遮光板可拆卸地设置在放置槽内。

通过采用上述技术方案，同轴光源通过透光孔将同轴光照射到晶圆上，遮光板罩设在同轴光源上，一方面是为了减少同轴光的散失，另一方面是为了减少其他光源的干扰，这样探针卡便能检测到感应晶圆，同时提高晶圆的检测效率和精准度。

进一步的，所述遮光板朝向放置槽一侧设有限位筒，所述限位筒外壁与放置槽内壁贴合。

通过采用上述技术方案，限位筒一方面可以限制遮光板在探针台主体上晃动，一方面可以增强遮光效果，提高晶圆检测的效率和精度。

进一步的，所述放置槽外缘环设有用于压紧遮光板的压紧组件，所述压紧组件包括设置在探针台主体上的安装座，所述安装座上设有调节筒，调节筒内设有压紧杆，所述压紧杆可调节在调节筒上的位置。

通过采用上述技术方案，将遮光板盖合到放置槽上后，通过压紧杆压紧遮光板，一方面进一步限制遮光板晃动，另一方面提高晶圆的检测效率。

进一步的，所述调节筒内设有内螺纹，所述压紧杆外壁设有外螺纹，所述压紧杆螺接在调节筒内。

通过采用上述技术方案，通过旋拧压紧杆，这样可调整压紧杆相对调节筒的位置，从而便于压紧遮光板。

进一步的，所述压紧杆与调节筒滑动连接，所述压紧杆上设有上限位板和下限位板，所述上限位板和下限位板分别位于调节筒两侧，所述压紧杆上还套设有压簧，所述压簧位于下限位板与调节筒之间，所述压簧驱使压紧杆向下运动。

通过采用上述技术方案，压簧抵触下限位板，下限位板带动压紧杆向下运动，这样便可压紧遮光板。

进一步的，所述上限位板与压紧杆螺纹连接。