[实用新型]晶圆盒检测装置有效
| 申请号： | 201920851989.5 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN209840949U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 布兰登·布雷;中村优;菊池健;李秉隆 | 申请（专利权）人： | 芯恩(青岛)集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/30 | 分类号： | G01B5/30 |
| 代理公司： | 31219 上海光华专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆盒 限位检测 本实用新型 检测 第一表面 检测装置 翘曲检测 翘曲 表面贴合 单一检测 第二表面 检测集成 相对设置 变形的 平面的 形变 引入 圆盒 种晶 | ||
1.一种晶圆盒检测装置，其特征在于，包括：
具有相对设置的第一表面和第二表面的基座；
与所述晶圆盒上指定的待测结构的表面贴合并用于检测所述待测结构是否发生变形的多个限位检测结构；多个所述限位检测结构对应于多个所述待测结构，并设置于所述第一表面上；
用于检测所述待测结构中指定的待测平面是否发生翘曲的翘曲检测结构。
2.根据权利要求1所述的晶圆盒检测装置，其特征在于：所述限位检测结构包括限位桩、限位面或限位槽中的一种或多种的组合。
3.根据权利要求2所述的晶圆盒检测装置，其特征在于：所述限位检测结构包括所述限位桩与所述限位面的组合，所述限位桩设置于所述限位面上。
4.根据权利要求2所述的晶圆盒检测装置，其特征在于：所述限位检测结构包括所述限位槽与所述限位面的组合，所述限位槽设置于所述限位面上。
5.根据权利要求2所述的晶圆盒检测装置，其特征在于：所述限位检测结构包括相互平行设置的一对所述限位槽。
6.根据权利要求1所述的晶圆盒检测装置，其特征在于：所述翘曲检测结构包括与所述待测平面贴合并检测所述待测平面是否发生翘曲的翘曲检测块。
7.根据权利要求6所述的晶圆盒检测装置，其特征在于：所述翘曲检测结构还包括滑块，所述基座中设有导轨；所述滑块嵌设于所述导轨中，并沿所述导轨滑动；所述翘曲检测块连接所述滑块，并随所述滑块的滑动贴近或远离所述待测平面。
8.根据权利要求7所述的晶圆盒检测装置，其特征在于：所述翘曲检测结构还包括连接所述滑块与所述翘曲检测块，并使所述滑块与所述翘曲检测块之间的间距可调的连接件。
9.根据权利要求1所述的晶圆盒检测装置，其特征在于：所述晶圆盒检测装置还包括多个底脚，多个所述底脚设置于所述第二表面上。
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