[实用新型]一种充气式储物盒电子货架和充气式储物盒存放管理系统

说明书

本实用新型一种充气式储物盒电子货架和充气式储物盒存放管理系统，充气式储物盒上设置有至少一充气接口和至少一排气接口，电子货架包括：架体，架体上设置有至少一个安装座，安装座上设置有至少一个充气阀门和至少一个排气阀门，至少一个充气阀门和至少一个排气阀门能够分别与充气式储物盒上的充气接口和排气接口相对接；能够对充气式储物盒气体状态进行监测的至少一组气体状态监测组件。本实用新型可以实现充气式储物盒在货架内部的在位充气并能够对充气式储物盒内的气体状态进行实时检测，能够有效防止充气式储物盒在移动过程中所导致的晶圆损害和在充气式储物盒内气体参数不符合标准时的损害，能够有效保证晶圆存储的安全性。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，具体地涉及一种充气式储物盒电子货架和充气式储物盒存放管理系统。

背景技术

在半导体制造中，随着制程复杂度和晶圆(Wafer)尺寸(CD)越来越小，为了更好的对晶圆进行保护，晶圆多通过充气式储物盒(Foup)来进行储放，如图2所示，充气式储物盒500包括盒体501和设置在盒体下部的底座502，充气式储物盒500通过底座502放置在货架上，为了保证晶圆在充气式储物盒内的稳定性，现有常规的方法为在充气式储物盒内充满氮气(N2)，所以充气式储物盒上均设置有充气接口和排气接口，然而现有充气式储物盒和货架均没有设置对充气式储物盒内氮气状态进行补充的结构或装置，所以现有充气式储物盒对氮气的补充，多在机台端或者在进入货架前完成，当发现充气式储物盒内气体状态不符合要求时将充气式储物盒移出充气后再放回，在移出和放回的过程中均增加了晶圆损害的风险。另外现有货架结构也无法对充气式储物盒内的气体状态进行监控，一旦充气式储物盒内的参数不符合要求，就会造成晶圆的损害，严重时会导致报废，所以需要设计一种充气式储物盒电子货架和充气式储物盒存放管理系统，来实现充气式储物盒在货架内的气体状态监控及在线充气。

实用新型内容

鉴于现有技术的上述缺陷和不足，本实用新型提供一种充气式储物盒电子货架和充气式储物盒存放管理系统，来实现充气式储物盒在货架内的气体状态监控及在线充气。

本实用新型提供一种充气式储物盒电子货架，所述充气式储物盒上设置有至少一充气接口和至少一排气接口，其特征在于，所述电子货架包括：

架体，所述架体上设置有至少一个能够放置所述充气式储物盒的安装座，所述安装座上设置有至少一个充气阀门和至少一个排气阀门，所述至少一个充气阀门和至少一个排气阀门能够分别与所述充气式储物盒上的充气接口和排气接口相对接；

能够对充气式储物盒气体状态进行监测的至少一组气体状态监测组件。

优选地，所述电子货架还包括气体补充装置，所述气体补充装置包括气源和充气装置，所述充气装置的抽风口与所述气源相连通，所述充气装置的充气口与所述充气阀门相连通。

进一步地，所述电子货架还包括控制系统，所述控制系统能够接收所述气体状态监测组件的信号并对所述充气装置、所述充气阀门、所述排气阀门进行启闭控制。

进一步地，所述气体补充装置还包括回气净化装置，所述排气阀门与所述回气净化装置的进气口相连接，所述回气净化装置的出气口与所述气源相连通。

更进一步地，所述气体状态监控组件包括至少一个能够对所述至少一个充气式储物盒内压力进行检测的压力传感器。

更进一步地，所述压力传感器安装在所述充气阀门与所述充气口之间的连通管道上。

优选地，所述气体状态监控组还包括能够对排气阀门处气流状态进行检测的气流传感器，所述气流传感器安装在所述排气阀门的阀门口处。

优选地，所述电子货架还包括对所述安装座上充气式储物盒进行识别的充气式储物盒识别装置，所述充气式储物盒识别装置与所述控制系统相电连。