[实用新型]一种应用于管式退火炉上的双真空系统

说明书

本实用新型公布了一种应用于管式退火炉上的双真空系统，包括安装在管式退火炉上的左真空系统和右真空系统；反应腔分别通过管路连通左真空系统和右真空系统；反应腔与左真空系统之间的管路上安装有用于测量低真空度和高真空度的左电阻规和左电离；反应腔与右真空系统之间的管路上安装有用于测量低真空度和高真空度的右电阻规、右电离规和右压力表。本实用新型设计合理，使用左真空系统和右真空系统的组合，配合反应腔，能够非常有效的提高抽气效率，缩短整个工艺时间，大大提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及管式退火炉领域，更具体地说，属于一种应用于管式退火炉上的双真空系统。

背景技术

磁性材料、半导体材料的扩散薄膜工艺过程是在负压状态下进行的，真空烧结退火炉设置有真空机组，用于对反应腔抽真空，满足负压或负压恒压的工作环境。

目前国内厂家生产的同类产品中，只有一套真空系统，对于细长的管式退火炉反应腔来说，抽气速度慢且极限真空不好，需要很长的时间才能达到需要的负压压力条件，使整个工艺时间很长，设备运行成本增加。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供了一种应用于管式退火炉上的双真空系统，设计合理，能够非常有效的提高抽气效率，缩短整个工艺时间，大大提高生产效率，是工艺腔更快达到所需要的负压压力工艺条件，同时，在工艺所需负压压力条件达到后又可以单独使用其中任意一套真空系统，降低能耗，设备运行生产的成本更低。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种应用于管式退火炉上的双真空系统，与管式退火炉相对应，管式退火炉上设置有反应腔；其特征在于：包括安装在管式退火炉上的左真空系统和右真空系统；反应腔分别通过管路连通左真空系统和右真空系统；反应腔与左真空系统之间的管路上安装有用于测量低真空度和高真空度的左电阻规和左电离；反应腔与右真空系统之间的管路上安装有用于测量低真空度和高真空度的右电阻规、右电离规和右压力表。

作为一种优化的技术方案，所述左真空系统包括安装在管式退火炉上的左机组支架组件、左高真空阀、左扩散泵、左系统阀、左预抽阀、左充气阀、左罗茨泵、左机械泵、左电磁充气阀；其中左机组支架组件固定在地面支撑固定机组用；左真空系统的前端连通左高真空阀，左高真空阀两端分别连通左扩散泵、左预抽阀；左扩散泵另一端连接左系统阀；左预抽阀与左系统阀另一端的管路通过三通并联左罗茨泵，在并联的管路上装有左充气阀；左罗茨泵的另一端连接左电磁充气阀；左电磁充气阀另一端连接左机械泵。

作为一种优化的技术方案，所述右真空系统包括安装在管式退火炉上的右机组支架组件、右高真空阀、右扩散泵、右系统阀、右预抽阀、右充气阀、右罗茨泵、右机械泵、右电磁充气阀；其中右机组支架组件固定在地面支撑固定机组用；右真空系统的前端连通右高真空阀，右高真空阀两端分别连通右扩散泵、右预抽阀；右扩散泵另一端连接右系统阀；右预抽阀与右系统阀另一端的管路通过三通并联右罗茨泵，在并联的管路上装有右充气阀；右罗茨泵的另一端连接右电磁充气阀；右电磁充气阀另一端连接右机械泵。

由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本实用新型设计合理，使用左真空系统和右真空系统的组合，配合反应腔，能够非常有效的提高抽气效率，缩短整个工艺时间，大大提高生产效率，是工艺腔更快达到所需要的负压压力工艺条件，同时，在工艺所需负压压力条件达到后又可以单独使用其中任意一套真空系统，降低能耗，设备运行生产的成本更低。

参照附图和实施例对本实用新型做进一步说明。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例中的管式退火炉主视结构示意图；

图2为本实用新型一种实施例中的左真空系统结构示意图；

图3为本实用新型一种实施例中的右真空系统结构示意图；