[实用新型]一种新型高温燃烧废气处理柜

说明书

本实用新型提供一种新型高温燃烧废气处理柜，包括循环吸收水箱、高温燃烧腔以及循环水泵，所述高温燃烧腔外侧安装燃烧腔保温筒，所述燃烧腔保温筒下端面安装支撑筒，且燃烧腔保温筒通过栓锁夹与支撑筒固定连接，所述支撑筒下端面安装四通管，所述循环水泵通过连接管与循环吸收水箱相连接，且循环水泵出水端安装输水管，所述燃烧腔保温筒外侧安装水套，所述高温燃烧腔上端面等距安装多组加热棒，所述加热棒下端延伸至高温燃烧腔内，且加热棒外侧套设外套盲管，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：避免酸性或碱性气体对加热棒本身的直接腐蚀，提高设备的安全性能。

技术领域

本实用新型是一种新型高温燃烧废气处理柜，属于半导体工艺设备技术领域。

背景技术

废气处理柜用于处理半导体器件、材料等生长工艺设备所产生的工艺废气和副产物废气。目前，普通的废气处理柜的高温燃烧腔内装有加热棒，但是加热棒是直接裸露安装在高温燃烧腔中，存在很大的隐患，半导体工艺废气中含有各种酸性碱性气体，还有有毒易燃易爆的气体，一旦加热棒因腐蚀造成废气泄露，后果非常严重，安全性能非常低。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种新型高温燃烧废气处理柜，以解决上述背景技术中提出普通的废气处理柜的高温燃烧腔内装有加热棒，但是加热棒是直接裸露安装在高温燃烧腔中，存在很大隐患的问题，本实用新型避免酸性或碱性气体对加热棒本身的直接腐蚀，增加了加热棒的使用寿命，提高设备的安全性能。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种新型高温燃烧废气处理柜，包括循环吸收水箱、高温燃烧腔以及循环水泵，所述高温燃烧腔外侧安装燃烧腔保温筒，所述燃烧腔保温筒下端面安装支撑筒，且燃烧腔保温筒通过栓锁夹与支撑筒固定连接，所述支撑筒下端面安装四通管，所述四通管安装在循环吸收水箱上端面，且四通管另一端安装下部喷淋腔，所述下部喷淋腔上端安装中部喷淋腔，所述中部喷淋腔上端安装上部喷淋腔，所述上部喷淋腔上端安装出气管道，所述循环水泵通过连接管与循环吸收水箱相连接，且循环水泵出水端安装输水管，所述支撑筒、上部喷淋腔、中部喷淋腔以及下部喷淋腔均通过支管与输水管相连接，所述高温燃烧腔上端面焊接多组废气进管，且高温燃烧腔上端面安装氧气进管和氮气进管，所述燃烧腔保温筒外侧安装水套，所述水套下端外表面焊接冷却水进管，且水套上端外表面焊接冷却水出管，所述高温燃烧腔上端面等距安装多组加热棒，所述加热棒下端延伸至高温燃烧腔内，且加热棒外侧套设外套盲管，所述外套盲管上端固定在高温燃烧腔内部上端面。

进一步地，所述外套盲管安装有至少三组，至少三组所述外套盲管均套设在加热棒外侧。

进一步地，所述循环吸收水箱外表面和出气管道外表面均安装有温度传感器，所述废气进管外表面和出气管道外表面均安装有压力传感器，所述温度传感器和压力传感器的输出端均通过数据线连接PLC输入端，所述PLC输出端通过数据线连接蜂鸣器输入端。

进一步地，所述冷却水进管和冷却水出管均与循环冷却水系统相连接。

进一步地，所述栓锁夹安装有至少三组，至少三组栓锁夹呈环形等距安装在支撑筒和燃烧腔保温筒之间。

本实用新型的有益效果：本实用新型中加热棒与高温燃烧腔之间有外套盲管的保护，避免了酸性或碱性气体对加热棒本身的直接腐蚀，大大增加了加热棒的使用寿命，提高了设备的安全性能，高温加热腔外有保温层和水套，既能保证了高温加热腔内的温度不会散失，又保证了高温加热腔对环境温度的影响，避免维护和操作人员被烫伤，大大加强了设备的安全性。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种新型高温燃烧废气处理柜的结构示意图；

图2为本实用新型一种新型高温燃烧废气处理柜中A处放大图；